[发明专利]一种聚酰亚胺薄膜退火设备

权利要求书

1.一种聚酰亚胺薄膜退火设备，其特征在于，包括：

退火室(2)，具有进口(21)、出口(22)；

牵引机构，用于牵引薄膜(1)持续通过退火室(2)并将退火室(2)分隔成位于薄膜(1)上方的上区和位于薄膜(1)下方的下区；

上安装组件(3)，安装在退火室(2)内，并具有位于薄膜(1)上表面与退火室(2)顶壁之间的将上分区隔成上加热区和上冷却区的上分隔件(31)；

第一上吸气组件(5)，安装在上加热区内，并用于由上加热区进口处向退火室(2)外抽取上加热区气体；

上加热组件(4)，安装在上加热区内并靠近上安装组件(3)。

2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺薄膜退火设备，其特征在于，还包括：第二上吸气组件(6)，安装在上冷却区内，并用于由上冷却区出口处向退火室(2)外抽取上冷却区的气体；

进一步地，第二上吸气组件(6)具有将上冷却区与退火室(2)外进行隔离的上分隔部(61)；

进一步地，第二上吸气组件(6)的进气口水平布置且朝向上安装组件(3)。

3.根据权利要求2所述的聚酰亚胺薄膜退火设备，其特征在于，上安装组件(3)还包括第一上风帘发生单元(32)，用于在上安装组件(3)的上冷却区侧形成第一上风帘，第一上风帘斜置以使第一上风帘具有指向薄膜(1)上表面的竖直分速度和指向上冷却区出口的水平分速度。

4.根据权利要求3所述的聚酰亚胺薄膜退火设备，其特征在于，上加热组件(4)具体包括：

上加热单元(41)；

第二上风帘发生单元，用于将由上加热单元(41)加热的气体形成第二上风帘，第二上风帘斜置以使第二上风帘具有指向薄膜(1)上表面的竖直分速度以及指向上加热区进口的水平分速度；

进一步地，第一上吸气组件(5)具有将上加热区与退火室(2)外进行隔离的第二上分隔部(61)；

进一步地，第一上吸气组件(5)的进气口水平布置。

5.根据权利要求4所述的聚酰亚胺薄膜退火设备，其特征在于，第一上吸气组件(5)抽取上加热区气体作为第二上风帘发生单元的气源。

6.根据权利要求1所述的聚酰亚胺薄膜退火设备，其特征在于，还包括：下安装组件，安装在退火室(2)内，并具有位于薄膜(1)下表面与退火室(2)底壁之间的将下区隔成下加热区和下冷却区的下下分隔件；

第一下吸气组件，安装在下加热区内，并用于由下加热区进口处向退火室(2)外抽取下加热区气体；

下加热组件，安装在下加热区内并靠近下安装组件。

7.根据权利要求1所述的聚酰亚胺薄膜退火设备，其特征在于，还包括：第二下吸气组件，安装在下冷却区内，并用于由下冷却区出口处向退火室(2)外抽取下冷却区的气体；

进一步地，第二下吸气组件具有将下冷却区与退火室(2)外进行隔离的下分隔部；

进一步地，第二下吸气组件的进气口水平布置且朝向下安装组件。

8.根据权利要求7所述的聚酰亚胺薄膜退火设备，其特征在于，下安装组件还包括第一下风帘发生单元，用于在下安装组件的下冷却区侧形成第一下风帘，第一下风帘斜置以使第一下风帘具有指向薄膜(1)下表面的竖直分速度以及指向下冷却区出口的水平分速度。

9.根据权利要求8所述的聚酰亚胺薄膜退火设备，其特征在于，下加热组件具体包括：

下加热单元；

第二下风帘发生单元，用于将由下加热单元加热的气体形成第二下风帘，第二下风帘斜置以使第二下风帘同时具有指向薄膜(1)下表面的竖直分速度以及指向下加热区进口的水平分速度；

进一步地，第一下吸气组件具有将下加热区与退火室(2)外进行隔离的第二下分隔部；

进一步地，第一下吸气组件的进气口水平布置。

10.根据权利要求9所述的聚酰亚胺薄膜退火设备，其特征在于，第一下吸气组件抽取到的下加热区的气体作为第二下风帘发生单元的气源。