[发明专利]通过加入金属氧化物纳米颗粒提高单晶金刚石抛光效率的方法在审
| 申请号： | 202210746893.9 | 申请日： | 2022-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN115091338A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 佘丁顺;宋慧慧;关芮;岳文;赵洪晨;康嘉杰;孟德忠;朱丽娜;付志强 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学（北京）;中国地质大学（北京）郑州研究院 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B49/00;B24B49/16;C09G1/02 |
| 代理公司： | 深圳市优赛朝闻专利代理事务所(普通合伙) 44454 | 代理人： | 谭育华 |
| 地址： | 100000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通过 加入 金属 氧化物 纳米 颗粒 提高 金刚石 抛光 效率 方法 | ||
1.一种通过加入金属氧化物提高单晶金刚石抛光效率的方法，其特征在于：实验条件为常温常压大气环境，采用传统金刚砂抛光盘，添加去离子水和氧化铝或氧化锆(质量比为：1:0.2～1:0.8)的混合抛光液，混合抛光液匀速滴在高速旋转的金刚砂抛光盘上，流速为100～200mL/h。抛光盘转速为500r/min～2500r/min，施加压力为0.5～20N。
2.根据权利要求1所述一种通过加入金属氧化物提高单晶金刚石抛光效率的方法，其特征在于：氧化铝或氧化锆粉末大小均匀，表面包裹有厚度为6-12nm化学改性后的石墨烯层，有利于在抛光剂悬浮。
3.根据权利要求1所述一种通过加入金属氧化物提高单晶金刚石抛光效率的方法，其特征在于：混合抛光液中的氧化铝粉末和氧化锆粉末的粒径为15～50nm。
4.根据权利要求1所述一种通过加入金属氧化物提高单晶金刚石抛光效率的方法，其特征在于：所用氧化铝或氧化锆粉末需在干燥箱中干燥1小时以上。
5.根据权利要求1所述一种通过加入金属氧化物提高单晶金刚石抛光效率的方法，其特征在于：在制备混合抛光液时，使用超声分散，频率为24kHz，温度为50℃～80℃，确保金属氧化物与去离子水混合均匀。
6.根据权利要求1所述一种通过加入金属氧化物提高单晶金刚石抛光效率的方法，其特征在于：在制备混合抛光液时，要持续进行磁力搅拌，使金属颗粒在去离子水中均匀分布。
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