[发明专利]一种树脂组合物以及使用其的光刻胶图形化的方法

权利要求书

1.一种树脂组合物，其包含以下组分：

(A)碱可溶树脂，10至30重量％；

(B)溶剂，70至90重量％，优选75至85重量％；

(C)表面活性剂，0.005至0.5重量％，优选为0.01至0.4重量％；更优选为0.05至0.4重量％；

(D)粘接助剂，0.01至20重量％，优选为0.1至15重量％，更优选为0.1至10重量％，

基于树脂组合物的总重量计，且各组分之和为100重量％。

2.根据权利要求1所述的树脂组合物，其中所述碱可溶树脂的重均分子量为1,000至100,000，优选为2,000至80,000，更优选为3,000至50,000，且分子量的分布宽度为1至5，优选为1至3，更优选为1.5至2.5，重均分子量根据GB/T 21863-2008测定。

3.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其中所述碱可溶树脂的酸值为10至300mgKOH/g，优选为20至200mg KOH/g，更优选为30至100mg KOH/g，酸值根据GB/T2895-2008测定。

4.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其中所述碱可溶树脂的羟值为10至800mgKOH/g，优选为30至500mg KOH/g，更加优选为50至300mg KOH/g，羟值根据DIN 53240-2:2007-11测定。

5.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其中所述碱可溶性树脂选自酚醛清漆树脂、羟基苯乙烯类树脂、丙烯酸或甲基丙烯酸类树脂，优选丙烯酸或甲基丙烯酸树脂。

6.根据权利要求5所述的树脂组合物，其中所述丙烯酸或甲基丙烯酸树脂通过甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸羟丙酯、丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟丙酯单体中的至少三种单体共聚合进行制备。

7.根据权利要求5所述的树脂组合物，其中所述丙烯酸或甲基丙烯酸树脂通过甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯以及选自甲基丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸羟丙酯中的任一种共聚合进行制备，优选通过甲基丙烯酸、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸羟乙酯共聚合进行制备。

8.根据权利要求7所述的树脂组合物，其中所述单体甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸羟乙酯的重量比为1.0:10.0:5.0至1.0:2.5:1.5，优选1.0:7.6:3.0至1.0:4.3:1.88。

9.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其中所述溶剂选自丙二醇单烷基醚、丙二醇单烷基醚乙酸酯、乳酸烷基酯和γ-丁内酯中的一种或者两种以上的混合物，优选丙二醇单甲醚。

10.一种光刻胶形成图形的方法，其包含以下步骤，

(i)在衬底上均匀涂覆根据权利要求1-9中任一项所述的树脂组合物，形成底层牺牲层光刻胶；

(ii)将在(i)中获得的胶膜在90-200℃的温度，优选110-150℃的温度下烘烤，以除去溶剂，且烘烤后的底层牺牲层光刻胶的厚度为0.1至8μm，优选为0.1至6μm；

(iii)在(ii)中烘烤过的底层牺牲层胶上均匀涂覆一层光刻胶，其为正性光刻胶或者负性光刻胶，优选对所述光刻胶在90至150℃的温度下进行预烘烤；

(iv)使用射线通过掩膜对(iv)中形成的光刻胶进行部分射线照射；

(v)使用显影液对(v)中得到的光刻胶膜进行显影；

(vi)任选地对显影后的光刻胶在120至180℃下，优选在120至150℃下进行烘烤，以使坚膜更完全。