[发明专利]一种基于微纳结构的双波段制导激光吸收器件及其制备方法

权利要求书

1.本发明公开了一种基于微纳结构的双波段制导激光吸收器件及其制备方法，由平面延拓的若干吸波单元构成。所述吸波单元包含三层：上层为等离激元谐振层，中间层为法布里珀罗(FP)谐振层，下层为金属底板反射层。所述等离激元谐振层包含十字架结构，形成周期性阵列。所述FP谐振层置于所述等离激元谐振层和金属底板反射层之间。

2.根据权利要求1所述的双波段制导激光吸收器件，其特征在于，所述十字架有若干个，每个十字架的构造均相同，由上层金属材料、下层介质材料堆叠而成；若干十字架沿水平方向等间距延拓，形成周期性阵列。

3.根据权利要求1所述的双波段制导激光吸收器件，其特征在于，所述十字架的上层金属材料和下层介质材料的厚度均小于激光波长，所述中间FP谐振层的厚度小于激光波长，所述下层金属底板反射层的厚度不小于0.1μm。

4.根据权利要求1所述的双波段制导激光吸收器件，其特征在于，所述中间FP谐振层采用高折射率介质材料，所述下层金属底板反射层采用金属镍。

5.根据权利要求1所述的双波段制导激光吸收器件，其特征在于，所述金属底板和所述FP谐振层连为一体，所述FP谐振层与所述等离激元谐振层连为一体。

6.一种基于微纳结构的双波段制导激光吸收器件制备方法，其特征在于，以真空镀膜和电子束曝光为主，包括如下步骤：

(1)采用真空镀膜法，在表面光滑的基材上，先镀上一层金属镍薄膜，再镀一层介质薄膜。

(2)采用电子束曝光法，在旋涂有电子束感光胶的器件表面，按所述十字架图形进行曝光。

(3)经显影、定影处理，得到所述十字架掩膜。

(4)采用真空镀膜法，进一步镀上一层介质薄膜，再镀一层金属薄膜。

(5)采用化学剥离法，完全去除器件表面的电子束感光胶，得到所述吸收器件。