[发明专利]一种双显示器高精度套刻机

说明书

本发明公开了一种双显示器高精度套刻机，涉及套刻机技术领域，针对现有的高精度套刻机，功能单一，需要将硅片切割成单个小件，耗时长，工艺复杂，且无法实现可视化对准，套刻精度低，增加了操作人员的工作量，使用效果差的问题，现提出如下方案，包括操作台，所述操作台的顶侧安装有LED紫外灯，所述操作台的顶侧固定焊接有两个对称设置的固定柱，两个所述固定柱上均活动安装有调节座，两个所述调节座上均固定焊接有连接杆。本发明设计合理，可以将整张硅片一次性直接曝光，提高了工作效率，且可以实现可视化对准，套刻精度高，可以对显示器进行多角度调节，降低了操作人员的工作量，使用效果好，值得推广使用。

技术领域

本发明涉及套刻机技术领域，尤其涉及一种双显示器高精度套刻机。

背景技术

光刻机的工作过程是这样的：逐一曝光完硅片上所有的场，亦即分步，然后更换硅片，直至曝光完所有的硅片；当对硅片进行工艺处理结束后，更换掩模，接着在硅片上曝光第二层图形，也就是进行重复曝光。其中，第二层掩模曝光的图形必须和第一层掩模曝光准确的套叠在一起，故称之为套刻。为提高工作效率，所以亟需一种双显示器高精度套刻机。

但是，现有的高精度套刻机，功能单一，需要将硅片切割成单个小件，耗时长，工艺复杂，且无法实现可视化对准，套刻精度低，增加了操作人员的工作量，使用效果差。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有的高精度套刻机，功能单一，需要将硅片切割成单个小件，耗时长，工艺复杂，且无法实现可视化对准，套刻精度低，增加了操作人员的工作量，使用效果差的缺点，而提出的一种双显示器高精度套刻机。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种双显示器高精度套刻机，包括操作台，所述操作台的顶侧安装有LED紫外灯，所述操作台的顶侧固定焊接有两个对称设置的固定柱，两个所述固定柱上均活动安装有调节座，两个所述调节座上均固定焊接有连接杆，所述连接杆远离所述调节座的一端转动连接有转动座，两个所述转动座上均固定安装有放大镜，两个所述转动座中的一个所述转动座上固定安装有第一高倍CCD相机，两个所述转动座中的另一侧所述转动座上固定安装有第二高倍CCD相机；

所述操作台的顶侧开设有滑槽，所述滑槽的内壁上转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆上螺纹连接有移动座，所述移动座上开设有两个凹槽，两个所述凹槽内均滑动连接座，两个所述连接座上固定焊接有同一个安装架，所述安装架上转动连接有四个转轴，相对应的两个所述转轴上固定安装有同一个液晶显示器。

在一个优选的实施方式中，所述操作台的前侧设有两个抽屉，所述操作台的前侧通过铰链铰接有两个门板，增加了所述操作台的存储空间，可以将一些仪器设备放在所述操作台内，便于操作人员使用。

在一个优选的实施方式中，所述操作台的底侧固定焊接有四个支腿，四个所述支腿为两两对称设置，四个所述支腿的底端均设有防滑垫，对所述操作台起到稳定支撑的效果，同时防止操作台受到外力轻易移动。

在一个优选的实施方式中，所述移动座上开设有螺纹孔，所述螺纹孔内设有一组内螺纹，所述螺纹杆上设有一组外螺纹，所述外螺纹与所述内螺纹相啮合，便于通过螺纹调节所述移动座的位置。

在一个优选的实施方式中，所述滑槽的底侧内壁上固定焊接有两个导向座，所述移动座的底侧开设有两个限位槽，所述导向座滑动设置在相对应的所述限位槽内，对所述移动板的移动起到限位导向的效果，同时降低摩擦力，使操作人员更易调节。

在一个优选的实施方式中，所述凹槽的顶侧内壁与底侧内壁上固定焊接有同一个导向杆，所述连接座滑动设置在相对应的所述导向杆上，对所述连接座的移动起到限位的效果。

在一个优选的实施方式中，所述滑槽的后侧内壁上开设有圆槽，所述螺纹杆上固定套设有轴承的内圈，所述轴承的外圈与所述圆槽的内壁固定设置，使所述螺纹杆的转动更加稳定，同时对所述螺纹杆起到限位的效果。