[发明专利]一种在塑料基材表面镀膜的方法及其装置

说明书

本申请涉及一种在塑料基材表面镀膜的方法及其装置，属于真空镀膜技术领域。一种在塑料基材表面镀膜的方法，包括：驱动真空泵对电镀室进行抽真空处理；充入氩气并进行放电，氩气被电离成氩离子，氩离子轰击塑料基材表面；在氩离子轰击时，开启深冷泵，电镀室与深冷泵之间形成冷却回路；保持深冷泵处于开启状态，进行真空镀模。一种在塑料基材表面镀膜的装置，包括：电镀室，电镀室外设置有真空泵和深冷泵，真空泵的入口端与电镀室相连通，真空泵抽气泵的出口端与外侧大气相连通，深冷泵与电镀室之间接有闭合的冷却回路。本申请具有改进了塑料基材表面水分子不能除去的问题，塑料基材的镀膜的效果较好、质量较高的效果。

技术领域

本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种在塑料基材表面镀膜的方法及其装置。

背景技术

随着社会的发展，人们对工业生产材料的要求也越来越高，为了在材料的表面增加不同的化学特性，人们常常会在工业生产材料的表面进行真空镀膜；真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于金属、半导体或绝缘体等镀件表面而形成薄膜的一种方法；现有的真空镀膜技术一般分为两大类，即物理气相沉积技术和化学气相沉积技术；其被广泛地应用于光学器件、电子电路、五金组件等领域上。

现有技术中，塑料基材在真空镀膜时，为了避免高温对塑料基材的损坏，其工作温度一般都低于水的沸点，而在这工作温度下，空气中的水分子往往会附着在塑料基材表面或真空镀膜室内的环境中，以现有的抽真空方式不能彻底除去电镀室内的水分子，导致塑料基材的镀膜的效果不好、质量较差。

发明内容

为了改进现有塑料基材在真空镀膜时不能较好的除去水分子，使其附着在塑料基材表面，导致塑料基材的镀膜的效果不好、质量较差的问题，本申请提供一种在塑料基材表面镀膜的方法及其装置。

采用如下的技术方案：

一种在塑料基材表面镀膜的方法，包括：

驱动真空泵对电镀室进行抽真空处理，并在所述电镀室内达到预定的真空度后，关闭所述真空泵；

将所述电镀室内的温度调整至预定温度值，向所述电镀室内充入氩气并进行放电，使所述电镀室内的氩气被电离成氩离子，并通过氩离子轰击塑料基材的表面，以将吸附在所述塑料基材表面上的水分子激起；

在氩离子轰击塑料基材的表面的同时，开启与所述电镀室连通的深冷泵，以在所述电镀室与深冷泵之间形成冷却回路，所述电镀室内被激起的水分子进入所述冷却回路中，并在所述冷却回路中被冷凝固；

保持所述深冷泵处于开启状态，在经过氩离子轰击的塑料基材表面进行真空镀模。

通过采用上述技术方案，将已经预处理好的塑料基材放置于电镀室中，驱动真空泵对电镀室进行抽真空处理，并在所述电镀室内达到预定的真空度后，关闭所述真空泵；但真空泵只能抽出室内的大部分气体，对水分子不能较好的抽出，水分子往往会附着在塑料基材表面或残留电镀室内，则将电镀室内的温度调整至预定温度值，电镀室内充入氩气并进行放电，氩气被电离成氩离子，通过氩离子轰击塑料基材表面，将吸附在所述塑料基材表面上的水分子激起，同时开启深冷泵，加速空气的流动，电镀室与深冷泵之间形成冷却回路，在冷却回路中水分子被冷凝固，防止了水分子再附着于塑料基材表面，从而减少电镀室内或者塑料基材表面的水分子，再将塑料基材表面进行真空镀膜，塑料基材表面不会或者较少含有水分子，极大地改进了塑料基材表面水分子不能除去的问题，塑料基材的镀膜的效果较好、质量较高。

优选的，所述驱动真空泵对电镀室进行抽真空处理之前包括：将所述塑料基材表面上的镀膜区域进行接地。

通过采用上述技术方案，塑料基材表面上的镀膜区域进行接地，防止在电镀过程中引起电火花，导致薄膜表面会有火花灼烧的痕迹，影响成膜效果。

优选的，所述电镀室内的预定温度值为50度至70度。

通过采用上述技术方案，塑料在50度至70度时，塑料基材表面不会受热变形。