[发明专利]一种超快脉冲测试系统、测试方法及装置

权利要求书

1.一种超快脉冲测试方法，应用于超快脉冲测试系统中，其特征在于，包括：

对待测器件施加电压幅值递增的脉冲，获得所述待测器件在不同的脉冲下对应的漏源电流值和漏源电压值；

基于所述不同的脉冲下对应的漏源电流值和漏源电压值，得到所述待测器件的瞬态漏源电流-漏源电压曲线以及静态漏源电流-漏源电压曲线；

基于所述瞬态漏源电流-漏源电压曲线和静态漏源电流-漏源电压曲线，确定所述待测器件的自加热效应对其电学特性的影响。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对待测器件施加电压幅值递增的脉冲，获得所述待测器件在不同的脉冲下对应的漏源电流值和漏源电压值，包括：

对待测器件施加电压幅值递增的脉冲，基于所述电压幅值递增的脉冲，确定每个脉冲下对应的电压幅值；

基于每个电压幅值递增的脉冲对应的电压幅值，通过求解转换，获得所述待测器件在不同的脉冲下对应的漏源电流值和漏源电压值。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对待测器件施加电压幅值递增的脉冲，获得所述待测器件在不同的脉冲下对应的漏源电流值和漏源电压值，包括：

对待测器件施加电压幅值递增的脉冲，其中，每个脉冲具有预设脉冲宽度，使得所述待测器件在一个预设脉冲宽度期间升温至自加热稳定，并在一个脉冲结束之后，等待预设时长，以使所述待测器件冷却后再发送下一脉冲，直至达到所述待测器件的工作电压，获得所述待测器件在不同的脉冲下对应的漏源电流值和漏源电压值。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述不同的脉冲下对应的漏源电流值和漏源电压值，得到所述待测器件的瞬态漏源电流-漏源电压曲线以及静态漏源电流-漏源电压曲线，包括：

基于所述不同的脉冲下对应的漏源电流值和漏源电压值，得到所述待测器件的瞬态电压测试数据以及静态电压测试数据，所述瞬态电压测试数据为在脉冲作用下待测器件未发生明显自加热效应时所采集的测试数据，所述静态电压测试数据为在脉冲作用下待测器件发生明显自加热效应时所采集的测试数据，所述未发生明显自加热效应为脉冲的前100ns内，所述发生明显自加热效应为脉冲的稳态期间；

基于所述待测器件的瞬态电压测试数据以及静态电压测试数据，得到所述待测器件的瞬态漏源电流-漏源电压曲线以及静态漏源电流-漏源电压曲线。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在对待测器件施加电压幅值递增的脉冲之前，还包括：

对所述待测器件施加直流信号，获得所述待测器件的直流电压特性曲线；

在所述基于所述不同的电压幅值下对应的漏源电流值和漏源电压值，得到所述待测器件的瞬态漏源电流-漏源电压曲线以及静态漏源电流-漏源电压曲线之后，还包括：

基于所述直流特性曲线，对所述静态漏源电流-漏源电压曲线进行校准。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述瞬态漏源电流-漏源电压曲线和静态漏源电流-漏源电压曲线，确定所述待测器件的自加热效应对其电学特性的影响，包括：

比对待测器件的瞬态漏源电流-漏源电压曲线和静态漏源电流-漏源电压曲线之间的差异；

基于所述差异，确定所述待测器件的自加热效应对其电学特性的影响。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述基于所述差异，确定所述待测器件的自加热效应对其电学特性的影响，包括：

基于所述差异的比例，对所述待测器件的自加热效应对其电学特性的影响进行定量分析。

8.一种超快脉冲测试装置，应用于超快脉冲测试系统中，其特征在于，包括：

获得模块，用于对待测器件施加电压幅值递增的脉冲，获得所述待测器件在不同的脉冲下对应的漏源电流值和漏源电压值；

得到模块，用于基于所述不同的脉冲下对应的漏源电流值和漏源电压值，得到所述待测器件的瞬态漏源电流-漏源电压曲线以及静态漏源电流-漏源电压曲线；

确定模块，用于基于所述瞬态漏源电流-漏源电压曲线和静态漏源电流-漏源电压曲线，确定所述待测器件的自加热效应对其电学特性的影响。