[发明专利]一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法

权利要求书

1.一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤S1：一次水洗，用清水清洗包装容器，并在清洗完成后完全将清水排出；

步骤S2：二次水洗，在包装容器内注入占包装容器容积a%的纯水，且对包装容器进行正反旋转0.5~3小时后排尽；

步骤S3：一次酸洗，在包装容器内注入占包装容器容积b%的氢氟酸，且对包装容器进行旋转12~48小时后排尽；

步骤S4：二次酸洗，在包装容器内注入占包装容器容积c%的氢氟酸，对包装容器清洗后排尽；

步骤S5：金属离子分析，从步骤S4中排出的液体中取样，对金属离子和0.1μm颗粒物进行检测；当取样液体的检测结果同时满足金属离子的含量不大于10ppt以及0.1μm颗粒物含量不大于10pcs/ml时，进入步骤S6；反之则重复步骤S4~S5；

步骤S6：三次水洗，在包装容器内注入占包装容器容积d%的纯水，且对包装容器进行旋转0.5~3小时后排尽；

步骤S7：四次水洗，在包装容器内注入占包装容器容积e%的纯水，对包装容器清洗后排尽；

步骤S8：pH值分析，从步骤S7中排出的液体中取样，对pH值进行检测；当取样液体的检测结果满足pH=6~7时，进入步骤S9；反之则重复步骤S6~S8；

步骤S9：在包装容器内充入保护气体后，对包装容器进行包装。

2.根据权利要求1所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：在步骤S1中，将清洗后的水排出后，再向包装容器中注满纯水并加压静置；静置一段时间后将纯水排出再进入步骤S2。

3.根据权利要求1所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：在步骤S2中，a=40~50；且在进入步骤S3之前，先对步骤S2重复进行2~6次。

4.根据权利要求1所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：在步骤S3中，b=20~40；且在进入步骤S4之前，先对步骤S3重复进行5~12次。

5.根据权利要求1所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：在步骤S4中，c=20~40；且在首次进入步骤S5之前，先对步骤S4重复进行2~6次。

6.根据权利要求1所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：在步骤S6中，d=40~50。

7.根据权利要求1所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：在步骤S7中，e =50~60；且在进入步骤S8之前，先对步骤S3重复进行4~8次。

8.根据权利要求1~7中任一项所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：步骤S3中所用的氢氟酸浓度为1%~10%；步骤S4中所用的氢氟酸浓度为30%~50%。

9.根据权利要求8所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：步骤S4中排出的废水经过处理后用于步骤S3中氢氟酸的调制。

10.根据权利要求1或9所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：在步骤S2中，注入包装容器内的纯水水温为60~90℃。