[发明专利]导电性薄膜、以及使用了其的导电性薄膜卷、电子纸、触摸面板和平板显示器

权利要求书

1.一种导电性薄膜，其具有透明基材、以及在该透明基材的单面或两面配置的包含金属细线图案的导电部，其特征在于，

所述金属细线图案由金属细线构成，

该金属细线包含导电性金属原子M和碳原子C，

在与所述金属细线的延伸方向正交的所述金属细线的截面的STEM-EDX分析中，将所述金属细线的厚度记作T时，距离所述透明基材侧的金属细线界面为0.10T至0.25T为止的厚度区域内的原子％比C/M_0.10～0.25为0.3以上且6.0以下，

所述导电性薄膜的薄层电阻为0.1Ω/sq以上且500Ω/sq以下。

2.根据权利要求1所述的导电性薄膜，其中，该金属细线还包含氧原子O，

距离所述透明基材侧的金属细线界面为0.10T至0.25T为止的厚度区域内的原子％比O/M_0.10～0.25为0.05以上。

3.根据权利要求1或2所述的导电性薄膜，其中，所述导电性金属原子M包含从由金、银、铜和铝组成的组中选择的至少1种以上的金属元素。

4.根据权利要求1或2所述的导电性薄膜，其中，在所述透明基材与所述导电部之间具有中间层。

5.根据权利要求4所述的导电性薄膜，其中，所述中间层包含从由硅氧化物、硅氮化物、铝氧化物和镁氟化物组成的组中选择的至少1种。

6.根据权利要求1或2所述的导电性薄膜，其中，所述金属细线的线宽为0.1μm以上且5.0μm以下。

7.根据权利要求6所述的导电性薄膜，其中，所述金属细线的纵横比为0.05以上且1.00以下。

8.根据权利要求6所述的导电性薄膜，其中，所述导电性薄膜的薄层电阻为0.1Ω/sq以上且1,000Ω/sq以下。

9.根据权利要求6所述的导电性薄膜，其中，所述导电性薄膜的可见光透射率为80％以上且100％以下。

10.根据权利要求6所述的导电性薄膜，其中，所述导电性薄膜的雾度为0.01％以上且5.00％以下。

11.根据权利要求6所述的导电性薄膜，其中，所述金属细线图案的开口率为80％以上且小于100％。

12.根据权利要求6所述的导电性薄膜，其中，所述金属细线图案为网格图案。

13.根据权利要求6所述的导电性薄膜，其中，所述金属细线图案为线图案。

14.一种导电性薄膜卷，其是将权利要求1～13中任一项所述的导电性薄膜卷绕而成的。

15.一种电子纸，其具备权利要求1～13中任一项所述的导电性薄膜。

16.一种触摸面板，其具备权利要求1～13中任一项所述的导电性薄膜。

17.一种平板显示器，其具备权利要求1～13中任一项所述的导电性薄膜。