[发明专利]处理气体污染物的设备在审
| 申请号： | 202210813517.7 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN115155291A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 田志伟 | 申请（专利权）人： | 益科斯有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D53/75;B01D53/32;B01D53/00;B01D53/86;B01D53/88;B01D47/06;B01D47/12;F23G7/06 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 王玉双;张燕华 |
| 地址： | 新加坡加冷*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 气体 污染物 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种处理气体污染物的设备，其特征在于，包括：
一进气部，包括一进气腔室以及至少一导引管路，该导引管路连通至该进气腔室并将一来自半导体制程的流出物导引至该进气腔室；
一第一处理单元，耦接于该进气部下方，该第一处理单元用于减弱(abate)该流出物；
一非机械式引流装置，耦接于该第一处理单元，该引流装置用于导引该流出物朝一开口移动；以及
一第二处理单元，经由该开口耦接至该引流装置，该第二处理单元接收从该第一处理单元来的该流出物并进一步地减弱(abate)该流出物。
2.根据权利要求1所述的处理气体污染物的设备，其特征在于，该引流装置系以一喷射流体诱发一压力差，以导引该流出物移动。
3.根据权利要求1所述的处理气体污染物的设备，其特征在于，该第一处理单元以及该第二处理分别为一燃烧式尾气处理器、一加热式尾气处理器、一湿式尾气处理器或一等离子式尾气处理器。
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