[发明专利]多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法

说明书

本发明涉及晶圆封装技术领域，尤其是一种多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法。搬运设备将位于料盒装载工位的料盒内的晶圆搬运至预热工位进行预热处理，将晶圆送入到对准工位中，进行扫码对准，再将位置对准后的晶圆搬运至对应的点胶机进行点胶作业，点胶作业完成后，搬运设备将晶圆取走送入冷却工位，对该晶圆进行冷却处理，冷却完成后搬运设备将晶圆取走，送入到原料盒装载工位的料盒内的出料层，完成作业。两个料盒装载工位通过搬运设备交叉输送晶圆时互不影响，两个料盒装载工位分别装载两种或一种不同工艺的晶圆，作业方式更灵活；料盒装载工位可绑定1～4台点胶机，多工位点胶机可进行连续的作业不中断、不出现空工位，提高工作效率。

技术领域

本发明涉及晶圆封装技术领域，尤其是一种多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法。

背景技术

点胶机作为一种新型的自动化设备，主要是完成胶体以特定方式通过预先设定的路径点滴到相应位置的功能。

现有的晶圆输送点胶机作业存在以下缺点：

1、这种设备价格高，同一时间只能执行一个工艺，因此，该作业方式不灵活，作业时非常容易出现工位空缺需等待工件的情况，效率低下，导致作业效率严重下降，影响工期；

2、加工过程中当其中一台点胶机工位突发异常时，其状态由等待进料变为异常，形成晶圆的滞留，进而对整个生产流程影响。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种两个料盒装载工位通过搬运设备交叉输送晶圆时互不影响，采用该双料盒的晶圆输送交叉作业的控制方法，两个料盒装载工位分别装载两种或一种不同工艺的晶圆，作业方式更灵活，工作效率高的多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法，所述多工位点胶机包括：控制器：用于接收、判断、发出所有工位的工作指令；搬运设备：用于向各工位取/送晶圆，并保证在运动过程中晶圆的安全；料盒装载工位：分为第一料盒装载工位和第二料盒装载工位，用于放置料盒，为搬运设备供料，并将作业完成的晶圆收回料盒；预热工位：用于对晶圆进行预热，并打开真空吸附；对准工位：用于对晶圆进行对中操作，找到槽口，并扫描晶圆编号；冷却工位：用于对完成作业的晶圆进行冷却降温，冷却完成后送回料盒；多台点胶机：用于进行点胶作业； 多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法，包括以下步骤：

S1：将料盒放置在对应的料盒装载工位上，每个料盒装载工位可根据作业需要绑定对应的点胶机，两个料盒装载工位绑定的点胶机为互斥设置，按下料盒装载按钮，控制器上即可显示每个料盒装载工位所绑定的点胶机；

S2：料盒装载工位开始载入料盒，确认点胶机的工艺配方与料盒装载工位上的晶圆所需的工艺匹配，即可开始正常作业，同一时间，只能进行一个料盒装载工位的载入动作；

S3：控制器通知搬运设备开始作业，搬运设备将位于料盒装载工位的料盒内的晶圆搬运至预热工位进行预热处理，控制器通知预热工位作业，预热一定时间后，晶圆预热完成，预热工位反馈控制器；

S4：控制器通知搬运设备，将步骤S3得到的晶圆送入到对准工位中，并通知控制器，控制器通知对准工位作业，对该晶圆进行扫码对准，并通知控制器；

S5：点胶机进料准备就绪，控制器通知搬运设备，将对步骤S4得到的晶圆搬运至对应的点胶机，并通知控制器，控制器通知该点胶机进行点胶作业，点胶作业完成，处于可以出料的状态，点胶机通知控制器；

S6：控制器通知搬运设备，搬运设备将步骤S5得到的晶圆取走送入冷却工位，并通知控制器，控制器通知冷却工位作业，对该晶圆进行冷却处理，冷却完成后通知控制器；

S7：控制器通知搬运设备，搬运设备将步骤S6得到的晶圆取走，并送入到原料盒装载工位的料盒内的出料层，完成作业。