[发明专利]一种新型数字微流控芯片及其制备方法在审
申请号: | 202210823817.3 | 申请日: | 2022-07-13 |
公开(公告)号: | CN115121305A | 公开(公告)日: | 2022-09-30 |
发明(设计)人: | 张帅龙;李恭;李凤刚;杨帆;胡汉奇;赵逊昊;杜诗琪 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 王爱涛 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 数字 微流控 芯片 及其 制备 方法 | ||
1.一种新型数字微流控芯片的制备方法,其特征在于,包括:
采用填充材料填充PCB基板中的过孔;
压合过孔中填充有填充材料的PCB基板,使填充后的过孔表面与所述PCB基板的表面齐平;
在压合后的所述PCB基板上覆铜并刻蚀电极和线路,然后,依次制备阻焊层和第二疏水层,得到下极板;
在玻璃基板上依次制备导电层和第一疏水层得到上极板;
采用导电胶带粘合所述下极板和所述上极板,得到数字微流控芯片。
2.根据权利要求1所述的新型数字微流控芯片的制备方法,其特征在于,采用树脂或铝片作为填充材料填充PCB基板中的过孔。
3.根据权利要求1所述的新型数字微流控芯片的制备方法,其特征在于,采用多层PCB技术,制备得到第一过孔和第二过孔;
采用阻焊层的制备材料作为填充材料填充所述第一过孔;
所述第一过孔和所述第二过孔通过隐层导线连接。
4.根据权利要求1所述的新型数字微流控芯片的制备方法,其特征在于,采用多层PCB技术,制备得到第一过孔和第二过孔;
采用树脂或铝片作为填充材料填充所述第一过孔;
所述第一过孔和所述第二过孔通过隐层导线连接。
5.根据权利要求1所述的新型数字微流控芯片的制备方法,其特征在于,所述导电层的制备材料为氧化铟锡。
6.一种新型数字微流控芯片,其特征在于,采用如权利要求1-4任意一项所述的新型数字微流控芯片的制备方法制备得到;所述新型数字微流控芯片包括:上极板和下极板;所述上极板和所述下极板采用导电胶带连接;
所述下极板包括:PCB基板、驱动电极、阻焊层、第二疏水层和接地电极;所述PCB基板上设置有过孔结构;所述过孔结构中的第一过孔采用填充材料填充;所述驱动电极设置在所述第一过孔上;所述阻焊层覆盖在所述驱动电极上;所述接地电极设置在所述阻焊层的两侧;所述第二疏水层覆盖在所述阻焊层上;
所述上极板包括:玻璃基板、导电层和第一疏水层;所述导电层附着在所述玻璃基板上;所述第一疏水层覆盖在所述导电层上;采用导电胶带粘合所述第一疏水层与所述第二疏水层。
7.根据权利要求6所述的新型数字微流控芯片,其特征在于,所述PCB基板为多层结构时,所述过孔结构还包括:第二过孔;所述第一过孔和所述第二过孔采用隐层导线连接。
8.根据权利要求7所述的新型数字微流控芯片,其特征在于,所述第一过孔采用填充材料填充。
9.根据权利要求8所述的新型数字微流控芯片,其特征在于,当所述PCB板为单层结构时,所述第一过孔的填充材料为树脂或铝片。
10.根据权利要求8所述的新型数字微流控芯片,其特征在于,当所述PCB板为多层结构时,所述第一过孔的填充材料为阻焊层材料、树脂或铝片。
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