[发明专利]一种具有异形石墨盒的均匀气氛烧结炉

权利要求书

1.一种具有异形石墨盒的均匀气氛烧结炉，其特征在于，包括：

第一壳体（100）；

第二壳体（200），所述第二壳体（200）设置于所述第一壳体（100）内，且所述第二壳体（200）的外侧壁与所述第一壳体（100）的内侧壁之间形成预热空间（110），所述第二壳体（200）具有烧结空间（210），所述烧结空间（210）用于容置烧结工件；所述第二壳体（200）呈圆筒状，且所述第二壳体（200）中部的直径小于所述第二壳体（200）两端的直径；

加热件（300），所述加热件（300）至少部分设置于所述预热空间（110），用于加热气体并将加热的所述气体输送至预热空间（110），以使所述气体从所述预热空间（110）渗透至所述烧结空间（210）内；

所述具有异形石墨盒的均匀气氛烧结炉还包括收蜡口（500），所述收蜡口（500）依次穿过所述第一壳体（100）和所述第二壳体（200），所述收蜡口（500）与所述烧结空间（210）连通，用于排出烧结过程中产生的蜡气；

所述具有异形石墨盒的均匀气氛烧结炉还包括载物台（600），所述载物台（600）设置于所述烧结空间（210）内，在所述载物台（600）的底壁与所述第二壳体（200）的内侧壁之间形成沉积区域（610），所述收蜡口（500）与所述沉积区域（610）对应。

2.根据权利要求1所述的具有异形石墨盒的均匀气氛烧结炉，其特征在于，所述第二壳体（200）的直径由所述第二壳体（200）的中部至所述第二壳体（200）的两端的方向逐渐增大。

3.根据权利要求1所述的具有异形石墨盒的均匀气氛烧结炉，其特征在于，所述加热件（300）包括加热管（310）和进气管（320）；

所述加热管（310）设置于所述预热空间（110）内，所述加热管（310）开设有出气孔（311）；

所述进气管（320）的一端伸出所述第一壳体（100），另一端伸入至所述预热空间（110）内并与所述加热管（310）连通，所述进气管（320）用于向所述加热管（310）通入气体，以使所述气体经所述加热管（310）以及所述出气孔（311）进入所述预热空间（110），并从所述预热空间经所述第二壳体（200）渗透至所述烧结空间（210）内。

4.根据权利要求3所述的具有异形石墨盒的均匀气氛烧结炉，其特征在于，所述加热管（310）的数量包括多个，所述多个加热管（310）环设于所述第二壳体（200）外并位于所述第一壳体（100）内，所述多个加热管（310）与所述第一壳体（100）同轴设置；

所述多个加热管（310）与所述第二壳体（200）偏心设置，且在同一截面上所述第二壳体（200）的圆心的高度在竖直方向上低于所述多个加热管（310）所在的圆心。

5.根据权利要求3所述的具有异形石墨盒的均匀气氛烧结炉，其特征在于，所述加热管（310）呈U型，所述加热管（310）包括对称设置且相互连通的加热段（312）和出气段（313），所述加热段（312）的另一端与所述进气管（320）连通，所述出气段（313）的另一端封闭，所述加热段（312）内设置有与所述加热段（312）等长的加热棒（314），所述出气孔（311）开设于所述出气段（313），所述出气孔（311）与所述预热空间（110）连通。

6.根据权利要求5所述的具有异形石墨盒的均匀气氛烧结炉，其特征在于，所述出气孔（311）的数量包括多个，所述多个出气孔（311）沿所述出气段（313）的延伸方向等间隔设置，且所述多个出气孔（311）均朝向所述第二壳体（200）。

7.根据权利要求5所述的具有异形石墨盒的均匀气氛烧结炉，其特征在于，所述进气管（320）包括进气段（321）、环形段（322）和连接段（323），所述进气段（321）的一端伸出所述第一壳体（100）外，另一端与所述环形段（322）连通，所述环形段（322）内设置有电极，所述环形段（322）分别通过多个所述连接段（323）与所述加热段（312）连通，并使得所述电极与所述加热棒（314）连接。