[发明专利]一种气动测试探针

说明书

本发明公开了一种气动测试探针，包括外管，所述外管内形成有进气腔，外管的侧部设置有与所述进气腔相通的进气口；活塞杆，所述活塞杆的上端从外管的上端口伸出并设置有探针，所述活塞杆的下端从外管的下端口伸出，并且活塞杆的上端和下端分别与外管的上端口和下端口之间滑动密封，活塞杆的外径小于进气腔的内径；活塞，所述活塞套设在活塞杆上，所述活塞与外管的内壁之间滑动密封，所述活塞位于所述进气腔的上方；弹性件，所述弹性件设置在活塞和外管的上端口之间；导线，所述导线设置在活塞杆内，导线的一端与探针连接，导线的另一端从活塞杆的下端伸出。

技术领域

本发明属于半导体检测设备技术领域，具体涉及一种气动测试探针。

背景技术

随着电子产品的快速发展，对其电路等性能需要进行测试，测试时候就需要用到测试探针作为信号的传载导体。现有的测试探针主要由针头、针管、弹簧三部分组成。其中弹簧装在针管内部，针头则可伸缩地装配在针管的两端。使用时，针头受力向针管内收缩会压缩弹簧，此时弹簧产生的弹力顶住针头，针头与被测对象紧密接触，从而完成相应的测试。

但是现有的测试探针使用时，如若待测产品的测试触点距离其端面距离过长(即深度较深)，人施力的时候力度控制过大，造成测试探针压伤待测产品的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种气动测试探针，解决现有测试探针使用过程中，人施力的时候若力度控制过大，容易造成测试探针压伤待测产品的问题。

为了解决上述技术问题，本发明公开了一种气动测试探针，包括：

外管，所述外管内形成有进气腔，外管的侧部设置有与所述进气腔相通的进气口；

活塞杆，所述活塞杆的上端从外管的上端口伸出并设置有探针，所述活塞杆的下端从外管的下端口伸出，并且活塞杆的上端和下端分别与外管的上端口和下端口之间滑动密封，活塞杆的外径小于进气腔的内径；

活塞，所述活塞套设在活塞杆上，所述活塞与外管的内壁之间滑动密封，所述活塞位于所述进气腔的上方；

弹性件，所述弹性件设置在活塞和外管的上端口之间；

导线，所述导线设置在活塞杆内，导线的一端与探针连接，导线的另一端从活塞杆的下端伸出。

本发明的技术方案，还具有以下特点：

进一步地，所述弹性件为压缩弹簧。

进一步地，所述活塞杆与所述活塞均为橡胶制成。

进一步地，所述探针为单头探针。

进一步地，所述活塞杆的上端设置有盲孔，所述探针的针管插装在所述盲孔中。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：(1)本发明的一种气动测试探针，以气动的方式可以实现施力控制，避免人手动控制造成压力过大的问题；(2)本发明的一种气动测试探针，外管可一定程度的延长接触距离，确保探针能够接触到不方便伸入的位置。(3)本发明的一种气动测试探针，其整体结构简单，操作方便，制造成本较低，具有较好的市场推广使用前景。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1是本发明的一种气动测试探针的结构示意图；

图2是本发明的一种气动测试探针中外管的结构示意图；

图3是本发明的一种气动测试探针中活塞杆和活塞的装配示意图。

图中：1.外管，2.活塞，3.活塞杆，4.导线，5.进气口，6.针管，7.针头，8.弹簧，9.压缩弹簧，10.进气腔。

具体实施方式