[发明专利]晶圆装载系统

权利要求书

1.晶圆装载系统，其特征在于：包括

机架，所述机架上开设有装载窗口；

门板解锁机构，所述门板解锁机构包括开门装置、映射装置、升降装置和横移装置，所述映射装置、开门装置和横移装置能在一个升降装置作用下同步上下移动，所述升降装置固定在机架上，所述开门装置和映射装置能在横移装置驱动下分别沿水平方向靠近或远离机架，所述开门装置能穿过装载窗口并打开或闭合晶圆装载盒的密封门，所述开门装置和映射装置在水平移动过程中从起始位置逐渐加速，并在停止位置逐渐减速至静止；

所述横移装置包括连接板件、两个行程板件和滚轮组件，两个所述行程板件与连接板平行且间隔设置，所述连接板件在第四驱动件驱动下升降，两个所述行程板件分别与开门装置、映射装置固定连接；

两个所述行程板件上均开设有轨迹槽，所述滚轮组件能在切换装置作用下分别嵌入两个行程板件的轨迹槽内，当所述滚轮组件嵌入到一个轨迹槽并沿此轨迹槽上下移动时，所述轨迹槽对应的行程板件沿连接板件在水平方向往复移动，所述行程板件在移动过程中，从起始位置逐渐加速，并在停止位置逐渐减速至静止，所述开门装置和映射装置固定在对应设置的行程板件上。

2.根据权利要求1所述的晶圆装载系统，其特征在于：所述轨迹槽为正弦结构。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆装载系统，其特征在于：所述滚轮组件包括第一滑块、第二滚轮和连接轴，所述第一滑块能在第五驱动件驱动下沿竖直方向往复移动，所述第二滚轮转动连接在连接轴的端部，所述第二滚轮位于第一滑块的外部，所述第二滚轮能嵌入轨迹槽内并沿轨迹槽移动，所述连接轴与切换装置连接，且所述连接轴能在切换装置作用下沿自身轴向移动。

4.根据权利要求3所述的晶圆装载系统，其特征在于：靠近所述连接板件的一个行程板件上还设有与轨迹槽连通的让位槽，所述让位槽竖直设置，所述第二滚轮能穿过让位槽嵌入远离连接板件的行程板件的轨迹槽内。

5.根据权利要求4所述的晶圆装载系统，其特征在于：所述切换装置包括Y向切换组件和X向切换组件，Y向切换组件用于将第二滚轮在一个行程板件的让位槽和轨迹槽之间切换，X向切换组件用于将第二滚轮在两个行程板件的轨迹槽内进行切换。

6.根据权利要求5所述的晶圆装载系统，其特征在于：所述Y向切换组件包括第七驱动件，所述第七驱动件固定在连接板件上，所述第七驱动件能驱动第五驱动件在水平面内往复移动。

7.根据权利要求5所述的晶圆装载系统，其特征在于：所述X向切换组件包括第八驱动件、摆臂和连接片，所述第八驱动件固定在第一滑块上，所述第八驱动件能驱动摆臂摆动，所述连接片的一端与摆臂铰接，另一端与所述连接轴铰接。

8.根据权利要求1所述的晶圆装载系统，其特征在于：所述连接板件上还设置有沿水平方向延伸的第二导轨，所述第二导轨和行程板件对应设置，所述行程板件上固定有沿第二导轨滑动的第二滑块。

9.根据权利要求1所述的晶圆装载系统，其特征在于：所述开门装置包括钥匙板和设置在钥匙板上的开锁组件，所述钥匙板固定在对应的行程板件上，所述开锁组件能伸入所述密封门内并打开或闭合密封门。

10.根据权利要求9所述的晶圆装载系统，其特征在于：所述开锁组件包括转动连接在钥匙板上的两个锁头，所述锁头设置在钥匙板靠近装载窗口的一侧，每个所述锁头上均固定有水平穿过钥匙板的开门轴，所述开门轴能在开锁驱动单元驱动下同步沿自身轴线转动。

11.根据权利要求10所述的晶圆装载系统，其特征在于：所述开锁驱动单元包括第六驱动件和在第六驱动件驱动下同步转动的两个转动轮，所述转动轮与开门轴固定连接，两个所述转动轮之间环绕有闭环设置的传动带。