[发明专利]一种半导体器件生产用固定设备

权利要求书

1.一种半导体器件生产用固定设备，其特征在于，所述半导体器件生产用固定设备包括：工作台（1）；底座（2），所述底座（2）呈空心结构设置，用于对所述工作台（1）承接；两个活动安装板（4），两个所述活动安装板（4）贯穿所述工作台（1）及所述底座（2）的上壁且与所述工作台（1）及所述底座（2）的上壁活动连接；夹持组件，所述夹持组件转动安装在所述活动安装板（4）上，用于对被夹持件（3）进行夹持固定；固定板（14），所述固定板（14）固定在所述工作台（1）上且位于所述活动安装板（4）远离所述夹持组件的一侧，所述固定板（14）通过安装在所述活动安装板（4）上的单向传动组件与所述夹持组件连接，用于在所述活动安装板（4）上移时带动夹持组件转动；操作台（9），所述操作台（9）滑动安装在设置于所述工作台（1）及底座（2）上的通槽内且与安装在所述底座（2）内的升降驱动组件连接，所述升降驱动组件跟随所述活动安装板（4）的移动运动。

2.根据权利要求1所述的一种半导体器件生产用固定设备，其特征在于，所述工作台（1）上位于所述活动安装板（4）的侧端至少固定有一个液压缸（8），所述液压缸（8）内的活塞杆与所述活动安装板（4）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体器件生产用固定设备，其特征在于，所述夹持组件包括：转动安装在所述活动安装板（4）上的转盘（5）；两个相对设置的夹爪（6），所述夹爪（6）铰接在所述转盘（5）上；电动伸缩杆（7），所述电动伸缩杆（7）铰接在所述转盘（5）上，且所述电动伸缩杆（7）的活动端与所述夹爪（6）铰接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体器件生产用固定设备，其特征在于，所述单向传动组件包括：转动安装在所述活动安装板（4）上且其轴线与所述活动安装板（4）平行的蜗轮（11），所述蜗轮（11）通过锥齿轮组（10）与所述转盘（5）的转轴转动连接；转动安装在所述活动安装板（4）上的蜗杆（12），所述蜗杆（12）与所述蜗轮（11）啮合，且所述蜗杆（12）远离所述活动安装板（4）的一端通过棘轮机构安装有与设置在所述固定板（14）上的条形齿（15）适配的第一齿轮（13）。

5.根据权利要求4所述的一种半导体器件生产用固定设备，其特征在于，所述锥齿轮组（10）包括分别固定在所述蜗轮（11）转轴及所述转盘（5）转轴上的大齿轮及小齿轮，所述大齿轮与小齿轮啮合，且所述大齿轮与所述小齿轮的传动比为2:1。

6.根据权利要求1所述的一种半导体器件生产用固定设备，其特征在于，所述升降驱动组件包括：两个水平设置的双向螺纹杆（18），所述双向螺纹杆（18）通过转动连接组件与所述活动安装板（4）连接，两个所述双向螺纹杆（18）上的螺纹方向相反；螺纹套筒（19），所述螺纹套筒（19）螺纹连接在所述双向螺纹杆（18）上，所述螺纹套筒（19）通过与之铰接的连接杆（21）与所述操作台（9）铰接；连接架（20），所述连接架（20）用于固定处于同一垂直面上的两个双向螺纹杆（18）上的螺纹套筒（19）。

7.根据权利要求6所述的一种半导体器件生产用固定设备，其特征在于，所述转动连接组件包括：双边齿条板（16），所述双边齿条板（16）固定在所述活动安装板（4）上；第二齿轮（17），所述第二齿轮（17）固定在所述双向螺纹杆（18）上且与所述双边齿条板（16）啮合。