[发明专利]一种高精度高速光调制器件及设备

权利要求书

1.一种高精度高速光调制器件，其特征在于，包括：

掩膜板，设置为圆环，所述圆环上设置有用于调制的图样，所述掩膜板适用于静态调制场景；

驱动件，用于驱动所述掩膜板沿其中轴线转动，以使所述掩膜板适用于动态调制场景，所述驱动件与所述圆环的内圈固定连接；

相机，用于采集经过所述掩膜板调制后的图像；

编码器，用于实现所述掩膜板与所述相机的同步；所述编码器集成在所述掩膜板中，基于所述编码器输出电信号，控制所述相机和所述驱动件同步运行，实现高精度调制；

其中，所述电信号用于同时输入至所述驱动件和所述相机，以控制所述驱动件驱动所述掩膜板转动，并作为外触发信号控制所述相机拍照。

2.如权利要求1所述高精度高速光调制器件，其特征在于，当所述掩膜板沿其周向方向包括多个扇形，且所述掩膜板上的图样以所述扇形为分布单位时，所述扇形的个数与所述驱动件要求的最高线数相等，以使所述编码器更加精确地控制所述驱动件驱动所述掩膜板转动。

3.如权利要求2所述高精度高速光调制器件，其特征在于，所述掩膜板沿其径向方向包括多个同心环，其中一个所述同心环被设置为校验圈；

所述校验圈用于显示所述掩膜板转动后的正确图样，以与所述相机实际采集到的结果进行比对。

4.如权利要求3所述高精度高速光调制器件，其特征在于，当所述掩膜板上的每一个所述扇形为空间光调制器中掩膜板的一行，所述掩膜板上的每一个所述同心环为空间光调制器中掩膜板的一列时，若所述掩膜板上的图样行数达到第一阈值，列数达到第二阈值，则所述掩膜板上的像素与空间光调制器的像素相比，高出1-2个数量级；

其中，所述图样对应于所述像素。

5.如权利要求1所述高精度高速光调制器件，其特征在于，所述光调制器件的最高调制频率大于等于第三阈值，所述第三阈值大于空间光调制器的最高调制频率。

6.如权利要求2所述高精度高速光调制器件，其特征在于：所述光调制器件的最高调制频率取决于所述扇形数量及所述驱动件的最高速度。

7.如权利要求1所述高精度高速光调制器件，其特征在于，所述编码器集成在所述掩膜板的外圈，以使所述掩膜板兼容线路。

8.如权利要求1所述高精度高速光调制器件，其特征在于，所述掩膜板的图样采用金属打孔方式、菲林刻蚀方式或者铬板刻蚀方式加工制得；

其中，当采用金属打孔方式时，所述掩膜板的最高分辨率为40-55μm；

当采用菲林刻蚀方式时，所述掩膜板的最高分辨率为18-22μm；

当采用铬板刻蚀方式时，所述掩膜板的最高分辨率为4-6μm。

9.如权利要求1所述高精度高速光调制器件，其特征在于，所述驱动件采用伺服电机或者直驱电机。

10.一种高精度高速光调制设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一所述的高精度高速光调制器件。