[发明专利]一种Mini/Micro LED芯片超声振动剥离巨量转移装置

权利要求书

1.一种Mini/Micro LED芯片超声振动剥离巨量转移装置，主要由芯片承载系统、激光超声视觉系统和基板承载系统三部分组成，其特征在于：

所述芯片承载系统主要包括：大理石平台(1)、左支座(2A)、右支座(2B)、芯片承载支架(3)和芯片承载板(4)；激光超声视觉系统主要包括：上平面左纵向电机定子(5A)、上平面右纵向电机定子(5B)、上平面左外导轨(6A)、上平面左内导轨(6B)、上平面右内导轨(6C)、上平面右外导轨(6D)、上平面纵向移动组件(7)、上平面横向移动组件(8)、超声振动运动模块(9)、超声振动驱动器(10)、超声振动组件(11)、激光器(12)、激光调焦镜头(13)、工业CCD相机固定架(14)、工业CCD相机(15)、上平面横向光栅尺(16)、上平面横向光栅尺读数头(17)、上平面纵向光栅尺(18)和上平面纵向光栅尺读数头(19)；

所述基板承载系统主要包括：下平面左纵向电机定子(20A)、下平面右纵向电机定子(20B)、下平面左外导轨(21A)、下平面左内导轨(21B)、下平面右内导轨(21C)、下平面右外导轨(21D)、下平面纵向移动组件(22)、基板承载升降组件(23)、下平面横向光栅尺(24)、下平面横向光栅尺读数头(25)、下平面纵向光栅尺(26)和下平面纵向光栅尺读数头(27)；

所述大理石平台(1)位于左支座(2A)、右支座(2B)的下方，左支座(2A)和右支座(2B)分别位于大理石平台(1)上表面的左侧和右侧，并通过紧固螺钉安装在大理石平台(1)上，芯片承载支架(3)位于左支座(2A)和右支座(2B)之间，并通过紧固螺钉分别安装在左支座(2A)的右侧和右支座(2B)的左侧，芯片承载板(4)位于芯片承载支架(3)的上平面，并通过芯片承载支架(3)中部凹槽固定，上平面左纵向电机定子(5A)和上平面右纵向电机定子(5B)分别位于左支座(2A)上表面中部和右支座(2B)上表面中部，并通过紧固螺钉分别安装在左支座(2A)和右支座(2B)上表面，上平面左外导轨(6A)和上平面左内导轨(6B)分别位于左支座(2A)上表面的左侧和右侧，上平面左外导轨(6A)和上平面左内导轨(6B)分别位于上平面左纵向电机定子(5A)的左侧和右侧，并通过紧固螺钉安装在左支座(2A)上，上平面右内导轨(6C)和上平面右外导轨(6D)分别位于右支座(2B)上表面的左侧和右侧，上平面右内导轨(6C)和上平面右外导轨(6D)分别位于上平面右纵向电机定子(5B)的左侧和右侧，并通过紧固螺钉安装在右支座(2B)上，上平面纵向移动组件(7)位于上平面左纵向电机定子(5A)、上平面右纵向电机定子(5B)、上平面左外导轨(6A)、上平面左内导轨(6B)、上平面右内导轨(6C)和上平面右外导轨(6D)的上方，并通过上平面纵向移动组件(7)底部的滑块卡在上平面左外导轨(6A)、上平面左内导轨(6B)、上平面右内导轨(6C)和上平面右外导轨(6D)上，上平面横向移动组件(8)位于上平面纵向移动组件(7)的上方，并通过上平面横向移动组件(8)底部的滑块卡在上平面纵向移动组件(7)的导轨上，超声振动运动模块(9)位于上平面横向移动组件(8)前表面的下侧，并通过紧固螺钉安装在上平面横向移动组件(8)上，超声振动驱动器(10)位于超声振动运动模块(9)的前侧，并通过紧固轴承安装在超声振动运动模块(9)的电机座上，超声振动组件(11)位于超声振动运动模块(9)的前方和超声振动驱动器(10)的下方，并通过紧固双头螺柱安装在超声振动驱动器(10)的下方，激光器(12)位于上平面横向移动组件(8)前表面左上方，激光器(12)位于超声振动运动模块(9)和超声振动驱动器(10)的上方，并通过紧固螺钉安装在上平面横向移动组件(8)上，激光调焦镜头(13)位于超声振动运动模块(9)、超声振动驱动器(10)和超声振动组件(11)的上方，激光调焦镜头(13)位于激光器(12)的下方，并通过旋紧螺纹固定在激光器(12)下方，工业CCD相机固定架(14)位于上平面横向移动组件(8)的前表面，工业CCD相机固定架(14)位于激光器(12)、超声振动运动模块(9)、超声振动驱动器(10)和超声振动组件(11)的右侧，并通过紧固螺钉安装在上平面横向移动组件(8)上，工业CCD相机(15)位于工业CCD相机固定架(14)中部卡槽内，并通过紧固螺钉固定在工业CCD相机固定架(14)内，上平面横向光栅尺(16)位于上平面纵向移动组件(7)的前表面，并通过环氧树脂胶粘在上平面纵向移动组件(7)上，上平面横向光栅尺读数头(17)位于上平面横向移动组件(8)前表面的右下方，并通过紧固螺钉安装在上平面横向移动组件(8)上，上平面纵向光栅尺(18)位于右支座(2B)左侧表面的上方，并通过环氧树脂胶粘在右支座(2B)上，上平面纵向光栅尺读数头(19)位于上平面纵向移动组件(7)右前侧表面上和上平面纵向光栅尺(18)的上方，并通过紧固螺钉安装在上平面纵向移动组件(7)上，下平面左纵向电机定子(20A)和下平面右纵向电机定子(20B)分别位于大理石平台(1)上表面左右两侧，并通过紧固螺钉安装在大理石平台(1)上，下平面左外导轨(21A)和下平面左内导轨(21B)位于大理石平台(1)上表面左侧，下平面左外导轨(21A)和下平面左内导轨(21B)分别位于下平面左纵向电机定子(20A)的左侧和右侧，并通过紧固螺钉安装在大理石平台(1)上，下平面右内导轨(21C)和下平面右外导轨(21D)位于大理石平台(1)上表面右侧，下平面右内导轨(21C)和下平面右外导轨(21D)分别位于下平面右纵向电机定子(20B)的左侧和右侧，并通过紧固螺钉安装在大理石平台(1)上，下平面纵向移动组件(22)位于下平面左纵向电机定子(20A)、下平面右纵向电机定子(20B)、下平面左外导轨(21A)、下平面左内导轨(21B)、下平面右内导轨(21C)和下平面右外导轨(21D)的上方，并通过下平面纵向移动组件(22)底部的滑块卡在下平面左外导轨(21A)、下平面左内导轨(21B)、下平面右内导轨(21C)和下平面右外导轨(21D)上，基板承载升降组件(23)位于下平面纵向移动组件(22)的上方，并通过基板承载升降组件(23)底部的滑块卡在下平面纵向移动组件(22)的导轨上，下平面横向光栅尺(24)位于下平面纵向移动组件(22)的前表面，并通过环氧树脂胶粘在下平面纵向移动组件(22)上，下平面横向光栅尺读数头(25)位于基板承载升降组件(23)前侧表面右下方，并通过紧固螺钉安装在基板承载升降组件(23)上，下平面纵向光栅尺(26)位于大理石平台(1)上表面右侧，并通过环氧树脂胶粘在大理石平台(1)上，下平面纵向光栅尺读数头(27)位于下平面纵向移动组件(22)前表面右侧和下平面纵向光栅尺(26)的上方，并通过紧固螺钉安装在下平面纵向移动组件(22)上。