[发明专利]测定方法、测定装置

说明书

本发明的实施方式涉及测定方法及测定装置。在测定方法中，在试验膜的表面配置抗蚀剂(20)，将模板(30)向配置于试验膜的表面的抗蚀剂(20)压靠，对将模板(30)压靠于抗蚀剂(20)后在抗蚀剂(20)形成的空隙的大小进行测定，基于空隙的大小来求出试验膜的气体透过率。

本申请以2021年12月16日提出申请的在先的日本国专利申请第2021-204364号的优先权的利益为基础，且追求该利益，其内容整体通过引用而包含于此。

技术领域

本发明的实施方式涉及测定方法及测定装置。

背景技术

以往，作为测定膜、片材等的气体透过率的方法，例如，如下述的非专利文献1所记载那样由日本工业标准(JIS：Japanese Industrial Standards)进行了规定。非专利文献1所规定的方法被称作差压法，具体而言是以下这样的试验方法。

首先，在气体透过性单元的2个腔室间以密封封闭的状态装配试验片。接着，对低压腔室进行真空排气，并且向高压腔室导入试验气体。由此，试验气体通过试验片，向低压腔室内透过。在低压腔室设置有压力传感器。利用压力传感器来检测低压腔室的压力变化，并且基于检测出的压力变化来求出试验片的气体透过率。

发明内容

根据所公开的实施方式，提供能够更合适地计测试验膜的气体透过率的测定方法及测定装置。

实施方式的测定方法中，在试验膜的表面配置液体材料，将模板(template)压靠于在试验膜的表面配置的液体材料，对将模板压靠于液体材料后在液体材料形成的空隙的大小进行测定，基于空隙的大小来求出试验膜的气体透过率。

根据上述的结构，能够提供能更合适地计测试验膜的气体透过率的测定方法及测定装置。

附图说明

图1的(A)～(D)是示意性地示出将模板压靠于基板上的抗蚀剂时的抗蚀剂的形状变化的情形的剖视图。

图2的(A)～(D)是示意性地示出将模板压靠于基板上的抗蚀剂时的抗蚀剂的变形例的俯视图。

图3的(A)、(B)是示意性地示出形成于抗蚀剂的空隙的历时性的形状变化的图。

图4是示出第1实施方式的测定装置的结构的框图。

图5是示出第1实施方式的基板的平面构造及空隙的图像数据的一例的图。

图6是示出第1实施方式的测定装置的动作例的流程图。

图7是示意性地示出第1实施方式的抗蚀剂向基板的滴下方法的一例的图。

图8是示出第1实施方式的气体透过率的运算次序的流程图。

图9是示出模板的填充时间与形成于抗蚀剂的空隙的面积的关系的曲线图。

图10是示出形成于气体透过率不同的3个试验膜α、β、γ的空隙的图像数据的一例的图。

图11是示出气体透过率不同的3个试验膜α、β、γ与系数λ的关系的柱状图。

图12是示出第2实施方式的测定装置的动作例的流程图。

图13是示出第2实施方式的第1变形例的测定装置的结构的框图。

图14是示出第2实施方式的第1变形例的测定装置的动作例的流程图。

图15是示出第2实施方式的第2变形例的测定装置的动作例的流程图。

具体实施方式

原理的说明