[发明专利]晶圆运输盒

权利要求书

1.一种晶圆运输盒，包括：

下部壳体(200)，包括底板(201)和一个以上的下部挡边(210)，所述一个以上的下部挡边(210)垂直形成于所述底板(201)的上表面以形成弧形的壁，以在内部空间(A)中堆叠晶圆；

上部壳体(100)，包括顶板(101)和上部挡边(110)，所述上部挡边(110)垂直形成于所述顶板(101)的下表面以形成弧形的壁；及

侧壁部件(300)，结合于所述下部挡边(210)的内侧，

其中，当所述上部壳体(100)与下部壳体(200)结合时，所述侧壁部件(300)固定堆叠在所述内部空间(A)中的晶圆。

2.根据权利要求1所述的晶圆运输盒，其中，

所述下部壳体(200)在底板(201)的上表面的每个边角处包括与所述上部壳体(100)结合时进行结合固定的一个以上的闩锁(250)，

所述上部壳体(100)在顶板(101)的每个边角处的对应于所述闩锁(250)的位置包括结合固定所述闩锁的一个以上的闩锁孔(150)。

3.根据权利要求2所述的晶圆运输盒，其中，

所述闩锁(250)包括：

第一闩锁部件(252)，位于所述底板(201)上的所述下部挡边(210)的外侧，并在所述底板(210)的上表面形成有底部；

第二闩锁部件(251)，在所述第一闩锁部件(252)沿垂直方向形成为与所述下部挡边(210)相面对；及

第三闩锁部件(253)，向所述第二闩锁部件(251)的内侧面突出，

其中，当所述上部壳体(100)与下部壳体(200)结合时，所述第三闩锁部件(253)固定结合于所述闩锁孔(150)。

4.根据权利要求3所述的晶圆运输盒，其中，

所述下部壳体(200)还包括：

支撑部件(220)，支撑所述下部挡边(210)，

其中，所述支撑部件(220)布置于所述闩锁(250)和所述下部挡边(210)之间，并且形成为在所述下部挡边(210)的下端部沿着所述下部挡边(210)形成弧形。

5.根据权利要求1所述的晶圆运输盒，其中，

所述下部壳体(200)还包括侧壁部件凹槽(230)，在所述下部挡边(210)内侧构成有空间，

所述侧壁部件(300)还包括侧壁固定部件(330)，在所述侧壁部件(300)下端部突出，

其中，所述侧壁固定部件(330)结合于所述侧壁部件凹槽(230)，从而将所述侧壁部件(300)固定于所述下部壳体(200)。

6.根据权利要求5所述的晶圆运输盒，其中，

所述上部壳体(100)在上部挡边(110)内侧还包括内侧部件(111)，

其中，当所述上部壳体(100)与下部壳体(200)结合时，所述内侧部件(100)与所述侧壁部件(300)的上端接触，所述下部挡边(210)与所述侧壁部件(300)的下端接触，以固定堆叠在内部空间(A)中的晶圆。

7.根据权利要求1所述的晶圆运输盒，其中，

所述上部壳体(100)还包括：

第一突出部件(131)，在所述上部壳体(100)的下表面向下部突出；

第二突出部件(132)，在所述第一突出部件(131)的内侧，在所述上部壳体(100)的下表面向下部突出，

其中，当所述上部壳体(100)与下部壳体(200)结合时，所述第一突出部件(131)插入结合于所述侧壁部件(300)上端与环形框架之间，

所述第二突出部件(132)按压并固定最上端的晶圆。

8.根据权利要求5所述的晶圆运输盒，其中，

所述侧壁部件(300)在外侧面的中央还包括中间凹槽，

所述下部挡边(210)还包括在所述下部挡边(210)上部以预定间隔设置为一个以上的挂接部件(211)，

当所述侧壁部件(300)结合于下部壳体(200)时，所述挂接部件(211)结合于所述侧壁部件(300)的中央凹槽，以固定侧壁部件(300)。