[发明专利]载流子浓度镓基液态金属测量探头及其装置在审

专利信息
申请号: 202210858509.4 申请日: 2022-07-20
公开(公告)号: CN115078949A 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 王昕;叶灿明;王世进;李俊生 申请(专利权)人: 广州昆德半导体测试技术有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 广州汇盈知识产权代理事务所(普通合伙) 44603 代理人: 许浩达
地址: 511330 广东省广州市增城区新城*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 载流子 浓度 液态 金属 测量 探头 及其 装置
【权利要求书】:

1.一种载流子浓度镓基液态金属测量探头,包括导电线,其特征在于:所述导电线连接碳化钨棒,碳化钨棒的一端伸入由抗腐蚀材料制成的液态金属容器中;所述液态金属容器开设有贯通的容腔和毛细管,容腔连通毛细管;所述容腔内部填注镓基液态金属,镓基液态金属浸没碳化钨棒,镓基液态金属在外力的作用下能够在毛细管中流动。

2.根据权利要求1所述的载流子浓度镓基液态金属测量探头,其特征在于:所述容腔连通毛细管,毛细管开设有导柱,导柱采用抗腐蚀材料制成。

3.根据权利要求1所述的载流子浓度镓基液态金属测量探头,其特征在于:所述毛细管底端由罩盖密封。

4.根据权利要求1所述的载流子浓度镓基液态金属测量探头,其特征在于:所述镓基液态金属包括EGaIn、GaIn10、GaIn20或GalnSn。

5.根据权利要求1所述的载流子浓度镓基液态金属测量探头,其特征在于:所述容腔的开口设置盖板,盖板穿插碳化钨棒,碳化钨棒的另一端露出盖板之外。

6.一种载流子浓度镓基液态金属测量装置,包括导电线,其特征在于:所述导电线连接碳化钨棒,碳化钨棒的一端伸入由抗腐蚀材料制成的液态金属容器中;所述液态金属容器开设有贯通的容腔和毛细管,容腔连通毛细管;所述容腔内部填注镓基液态金属,镓基液态金属浸没碳化钨棒;所述容腔的开口设置盖板,盖板穿插碳化钨棒,碳化钨棒的另一端露出盖板之外;所述盖板开设有若干个气孔;

所述液态金属容器和盖板被筒体和筒座封装,筒体和筒座螺纹连接成一体,筒体与容腔所构成的内部空间用于通入惰性气体或空气,且筒座与液态金属容器外侧面所构成的内部空间用于通入惰性气体或空气;所述导电线引出筒体之外,筒体连通有气管快速接头;所述筒座连通有氮气保护快速接头。

7.根据权利要求6所述的载流子浓度镓基液态金属测量装置,其特征在于:所述盖板的背面粘贴有防水透气膜。

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