[发明专利]一种晶圆多DIE漏电快速测试系统及方法

权利要求书

1.一种晶圆多DIE漏电快速测试系统，其特征在于：包括多路电流处理模块、测试通路选择模块以及电压电流转换模块，其中：

所述电流处理模块用于将采集的所需的电流转化为测试电压，并将转换后的测试电压进行放大后输入到测试通路选择模块中；

所述电流处理模块包括电流电压转化电路和电压放大电路，所述电流电压转化电路用于将采集的所需的电流转化为测试电压，并将转化后的测试电压输入到电压放大电路，所述电压放大电路用于将转换后的测试电压进行放大后输入到测试通路选择模块中；

所述电流电压转化电路包括B_IV_IN接头、电阻一R1、电阻二R2、电阻三R3、电阻四R4、电阻五R5、电阻六R6、电阻七R7、电阻八R8、电阻九R9、电阻十R10、电阻十一R11、电阻十二R12、电阻十三R13、电阻十四R14、电阻十五R15、电阻十六R16、电阻十七R17、电阻十八R18、电阻十九R19、电阻二十R20、变阻器一D1、变阻器二D2、电容一C1、电阻二八R28、飞安级输入偏置电流运算放大器U1A，其中：

所述电阻一R1的一端与B_IV_IN接头连接，所述电阻一R1的另一端、电阻二R2、电阻三R3、电阻四R4、电阻五R5、电阻六R6、电阻七R7、电阻八R8、电阻九R9、电阻十R10、飞安级输入偏置电流运算放大器U1A的OUT引脚依次连接；所述电阻十一R11的一端与B_IV_IN接头连接，所述电阻十一R11的另一端、电阻十二R12、电阻十三R13、电阻十四R14、电阻十五R15、电阻十六R16、电阻十七R17、电阻十八R18、电阻十九R19、电阻二十R20、飞安级输入偏置电流运算放大器U1A的-IN引脚依次连接；

所述变阻器一D1一端与飞安级输入偏置电流运算放大器U1A的OUT引脚连接，另一端与飞安级输入偏置电流运算放大器U1A的-IN引脚的连接线连接；所述电容一C1并联在变阻器一D1的两端上；所述变阻器二D2一端与飞安级输入偏置电流运算放大器U1A的-IN引脚连接，另一端与模拟地AG连接；所述电阻二八R28的一端与飞安级输入偏置电流运算放大器U1A的+IN引脚连接，另一端与模拟地AG连接；飞安级输入偏置电流运算放大器U1A的GRD引脚与B_IV_GUARD接头连接；

所述电压放大电路包括电阻二二R22、电阻二三R23、电容二C2、电容三C3、运算放大器二U2A、电阻二五R25、高压防闩锁型4通道多路复用器S1A、电容六C6、电容七C7、电容八C8、电容九C9、电阻二六R26、电阻二七R27、电阻二八R28、电阻二九R29、电阻三一R31、电阻三二R32、电阻三三R33、电阻三四R34、电阻三五R35、运算放大器三U3A、电容五C5、变阻器三D3，其中：

所述飞安级输入偏置电流运算放大器U1A的OUT引脚、电阻二二R22、电阻二三R23、运算放大器二U2A的正相输入端依次连接；所述电容二C2一端连接在电阻二二R22和电阻二三R23之间的连接线上，另一端与模拟地AG连接；所述电容三C3一端连接在电阻二三R23、运算放大器二U2A的正相输入端之间的连接线上，另一端与模拟地AG连接；所述电阻二五R25一端与运算放大器二U2A的负相输入端连接，另一端与模拟地AG连接；所述高压防闩锁型4通道多路复用器S1A的一端与运算放大器二U2A的负相输入端连接，所述高压防闩锁型4通道多路复用器S1A的开端端一、电阻二六R26、运算放大器二U2A的输出端依次连接，所述电容六C6并联在电阻二六R26的两端；所述高压防闩锁型4通道多路复用器S1A的开端端二、电阻二七R27、运算放大器二U2A的输出端依次连接，所述电容七C7并联在电阻二七R27的两端；所述高压防闩锁型4通道多路复用器S1A的开端端三、电阻二八R28、运算放大器二U2A的输出端依次连接，所述电容八C8并联在电阻二八R28的两端；所述高压防闩锁型4通道多路复用器S1A的开端端四、电阻二九R29、运算放大器二U2A的输出端依次连接，所述电容九C9并联在电阻二九R29的两端；

所述运算放大器二U2A的输出端、电阻三一R31、运算放大器三U3A的负相输入端依次连接；所述电阻三二R32一端与运算放大器三U3A的负相输入端连接，另一端与运算放大器三U3A的输出端连接，所述电容五C5并联在电阻三二R32的两端；所述电阻三三R33一端与运算放大器三U3A的正相输入端连接，另一端与模拟地AG连接；

所述运算放大器三U3A的输出端、电阻三四R34、电阻三五R35、变阻器三D3、模拟地AG依次连接，所述电阻三四R34与电阻三五R35之间的连接线与运算放大器三U3A的正相输入端连接；所述电阻三五R35与变阻器三D3之间的连接线与测试通路选择模块连接；

所述测试通路选择模块用于根据需要的待测试电流选择对应的测试电压，并将选择的测试电压输入到电压电流转换模块中；

所述电压电流转换模块用于将输入的测试电压转化为电流，此电流即为需要的待测试电流。