[发明专利]双压电管并排惯性驱动的旋转马达及旋转扫描探针显微镜

权利要求书

1.双压电管并排惯性驱动的旋转马达，其特征在于，包括：基座(1)、第一压电管(2)、第二压电管(3)、转盘(4)、转轴(5)、转盘夹持架(6)、压臂(8)、压臂固定架(9)；第一压电管(2)与第二压电管(3)的一端并排固定在基座(1)上，第一压电管(2)与第二压电管(3)的另一端为自由端；转盘夹持架(6)的上部同轴固定在第一压电管(2)的自由端，转盘夹持架(6)的下部将转盘(4)与转轴(5)夹持在第一压电管(2)的内部，转盘(4)带动转轴(5)共轴旋转，转盘(4)的外缘与压臂(8)相抵，压臂(8)竖直插在第二压电管(3)内部，压臂(8)的一端与压臂固定架(9)固定连接，压臂(8)的另一端活动插在基座(1)中，压臂固定架(9)固定在第二压电管(3)的自由端。

2.根据权利要求1所述的双压电管并排惯性驱动的旋转马达，其特征在于，所述的第一压电管(2)的左右两侧、从自由端开始向下对称地开设有两条第一矩形裂缝(21)，第一矩形裂缝(21)的长度大于转盘(4)的直径且小于第一压电管(2)的长度，第一压电管(2)的前后侧对称地开设有安装孔(22)。

3.根据权利要求2所述的双压电管并排惯性驱动的旋转马达，其特征在于，所述的第二压电管(3)的左侧、从自由端开始向下开设有一条第二矩形裂缝(31)，第二矩形裂缝(31)的长度大于转盘(4)的直径且小于第二压电管(3)的长度。

4.根据权利要求3所述的双压电管并排惯性驱动的旋转马达，其特征在于，所述的转盘(4)的外缘穿过第二压电管(3)左侧的第二矩形裂缝(31)与压臂(8)垂直相抵。

5.根据权利要求1所述的双压电管并排惯性驱动的旋转马达，其特征在于，还包括：第一底座(7)、第二底座(10)；所述的第一压电管(2)的一端固定在第一底座(7)上，第一底座(7)固定在基座(1)上，所述的第二压电管(3)的一端固定在第二底座(10)上，第二底座(10)固定在基座(1)上。

6.根据权利要求5所述的双压电管并排惯性驱动的旋转马达，其特征在于，还包括：圆台盖(11)，所述的压臂(8)的上端穿过圆台盖(11)后与压臂固定架(9)固定连接，压臂固定架(9)固定在圆台盖(11)上，圆台盖(11)固定在第二压电管(3)的自由端，压臂(8)的下端插在第二底座(10)的中心孔中。

7.根据权利要求1所述的双压电管并排惯性驱动的旋转马达，其特征在于，所述的转盘夹持架(6)的上部为圆柱盖(61)、下部为圆筒体(62)，圆柱盖(61)与圆筒体(62)固定连接成一体，所述的圆筒体(62)的左右侧开设有安装转盘(4)的开口(65)，圆筒体(62)的前后侧开设有安装转轴(5)的前孔(63)和后孔(64)；所述的转盘夹持架(6)的下部圆筒体(62)插入到第一压电管(2)中，所述的第一压电管(2)的自由端与圆柱盖(61)固定连接。

8.根据权利要求7所述的双压电管并排惯性驱动的旋转马达，其特征在于，所述的圆筒体(62)上开设的前孔(63)和后孔(64)的中心线与第一压电管(2)上开设的安装孔(22)的中心线重合，圆筒体(62)上开设的开口(65)与第一压电管(2)上开设的第一矩形裂缝(21)对齐，转盘(4)穿过第一矩形裂缝(21)以及开口(65)插入圆筒体(62)中，转轴(5)穿过安装孔(22)、前孔(63)、后孔(64)将转盘(4)限定在圆筒体(62)上。

9.根据权利要求8所述双压电管并排惯性驱动的旋转马达，其特征在于，所述的第一压电管(2)以及第二压电管(3)的外电极为两电极分割或者四电极分割，所述的前孔(63)和后孔(64)均位于位于电极分割线上。

10.一种基于权利要求1至9任一项所述的双压电管并排惯性驱动的旋转马达的旋转扫描探针显微镜，其特征在于，所述的扫描探针显微镜的镜体与转轴(5)固定连接。