[发明专利]一种纳米探针及其制备方法

说明书

本发明公开了一种纳米探针及其制备方法，包括探针座、电磁铁、导磁杆、导电管、导电套和铁磁性导电颗粒；所述电磁铁固定设于探针座内；所述导磁杆的上端活动伸入探针座内后弹性连接在电磁铁上；所述导电管固定套设于导磁杆的外壁上；所述导电套活动套设于导电管外壁后固定连接在探针座上；所述铁磁性导电颗粒被磁性吸附于导磁杆的外壁上形成有至少一层与导电管电性连通的颗粒导电层；本发明通过控制电磁铁的通电电流大小，能够改变导磁杆上磁性吸附的铁磁性导电颗粒形成的颗粒导电层的吸附层数，从而改变探针的规格，获得不同规格和不同电气参数的探针，无需更换探针，提高测试效率，提高探针的使用灵活性。

技术领域

本发明涉及一种纳米探针及其制备方法。

背景技术

在半导体芯片封装领域内，现有电子探针均为多段固定式弹性结构，其与封装检测基座的集成电路板接触导通的工作端尺寸固定，然而，根据测试不同工作需求，往往需要更换不同规格的探针进行测试，导致测试效率低，探针使用极为不灵活。

发明内容

本发明的目的在于克服以上所述的缺点，提供一种纳米探针及其制备方法。

为实现上述目的，本发明的具体方案如下：

一种纳米探针，包括探针座、电磁铁、导磁杆、导电管、导电套和铁磁性导电颗粒；

所述电磁铁固定设于探针座内；所述导磁杆的上端活动伸入探针座内后弹性连接在电磁铁上；所述导电管固定套设于导磁杆的外壁上；所述导电套活动套设于导电管外壁后固定连接在探针座上；所述铁磁性导电颗粒被磁性吸附于导磁杆的外壁上形成有至少一层与导电管电性连通的颗粒导电层。

本发明进一步地，还包括有颗粒导筒、电磁阀、颗粒导管和磁屏蔽管；所述颗粒导筒型面套设于探针座的外壁，且与探针座之间形成有气室腔；所述电磁阀设于颗粒导筒的外顶部，并用于控制气室腔与外界气泵的通断；

所述电磁铁包括电磁线圈和电磁铁芯，所述电磁线圈和电磁铁芯均固定设于探针座内；

所述导磁杆弹性连接在电磁铁芯上；所述颗粒导管的一端连接在电磁阀上，所述颗粒导管的另一端与气室腔连通；所述探针座内设有第一颗粒通道，所述磁屏蔽管沿导磁杆的轴线穿设于导磁杆内并贯穿电磁铁芯后与第一颗粒通道连通。

本发明进一步地，所述电磁铁芯的下端沿其轴线设有第一轴孔，所述导磁杆的上端滑动伸入第一轴孔内，所述第一轴孔内设有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的两端分别与导磁杆和第一轴孔的内顶相抵接。

本发明进一步地，所述电磁阀包括阀体、阀线圈和阀芯，所述阀体固定在颗粒导筒的顶端，所述阀体内具有阀腔，所述阀体设置有上下对应的且与阀腔连通的第一入口和第一出口，所述阀体设置有上下对应的且与阀腔连通的第二入口和第二出口；所述第一出口与气室腔连通，所述颗粒导管连接在第二出口上；所述阀线圈安装在阀体的一端，所述阀芯设于阀腔内，所述阀芯的一端贯穿阀体后与阀线圈连接。

本发明进一步地，所述导磁杆的下端部设有柔性垫，所述柔性垫沿周向均布第二颗粒通道。

本发明进一步地，所述探针座开设有第二轴孔，所述电磁铁设于第二轴孔的内顶，所述导电套固定在第二轴孔的开口位置。

本发明进一步地，所述铁磁性导电颗粒为纳米铜颗粒，所述纳米铜颗粒呈六棱锥结构，所述纳米铜颗粒的小端沉积附着有铁磁性材料层。

本发明进一步地，所述铁磁性材料层的厚度大于0.1mm。

本发明的有益效果为：本发明通过控制电磁铁的通电电流大小，能够改变导磁杆上磁性吸附的铁磁性导电颗粒形成的颗粒导电层的吸附层数，从而改变探针的规格，获得不同规格和不同电气参数的探针，无需更换探针，提高测试效率，提高探针的使用灵活性。

附图说明

图1是本发明的剖面示意图；