[发明专利]一种AZO透明导电膜的制作方法及透明型太阳能电池器件

权利要求书

1.一种AZO透明导电膜的制作方法，其特征在于，包括:

以金属铝含量为1%～5%的氧化锌为原料，制作成AZO金属氧化物靶材；

设定磁控溅射过程中氩气等离子体的工作压力为0.15～0.35Pa、成膜功率为4KW、成膜温度为200～300℃；

制成厚度大于400nm的AZO透明导电膜，此时所述透明导电膜形成晶格明显的六方晶束，其表面形貌为三、四、五、六棱锥型的混合尖端表面形状；当成膜压力从0.15Pa逐渐增加到0.35Pa时，多棱锥体的111或112晶向形成的晶面角度，也因晶束的宽度变化而发生明显的变化。

2.根据权利要求1所述的一种AZO透明导电膜的制作方法，其特征在于，设定所述工作压力为0.2Pa～0.25Pa，制成AZO透明导电膜的厚度为500～1000nm，此时AZO透明导电膜六方晶束的晶格顶部宽度为200～300nm，多棱锥体的111或112晶向的晶面夹角角度为100°～105°，所述AZO透明导电膜的折射率为n=1.75～1.85。

3.一种透明型太阳能电池器件，其特征在于，包括层叠设置的透明前基板、透明正电极层、PV光伏层、反射式金属负电极层、后盖；其中，所述透明前基板包括如权利要求1-2任一项所述方法制成的AZO透明导电膜，所述AZO透明导电膜设于所述透明前基板内侧，作为聚光结构。

4.根据权利要求3所述的一种透明型太阳能电池器件，其特征在于，所述透明前基板本体材料的折射率小于等于所述AZO透明导电膜的折射率，进而使得从所述太阳电池器件外界斜向入射到器件表面的光经过多次折射后，以趋向于垂直于器件表面的方向入射。

5.根据权利要求3所述的一种透明型太阳能电池器件，其特征在于，所述透明前基板的外表面设有减反射镀层，以便进一步提升入射光的利用率。

6.根据权利要求5所述的一种透明型太阳能电池器件，其特征在于，所述透明前基板为无色透明的刚性或柔性基材；当所述透明前基板为柔性基材时，在所述透明前基板表面制作一层或多层水汽阻隔光学膜层。

7.根据权利要求6所述的一种透明型太阳能电池器件，其特征在于，所述水汽阻隔光学膜层的材质为氮化硅、氧化硅、有机树脂涂层的一种或多种，设于所述透明前基板的一侧或双侧；当仅在所述透明前基板的一侧设置水汽阻隔光学膜层时，则设于所述透明前基板的内侧，即设有所述AZO透明导电膜的一侧。

8.根据权利要求3所述的一种透明型太阳能电池器件，其特征在于，所述透明正电极层为电导率为≥800S/cm的PEDOT:PSS材料制成。

9.根据权利要求3所述的一种透明型太阳能电池器件，其特征在于，还包括边框胶，所述边框胶为UV固化型或热固化型树脂或Frit材料，所述边框胶用于将所述后盖与所述透明前基板粘结在一起；所述树脂内填充有水氧吸附颗粒及粒径均匀的Spacer，所述Spacer的粒径尺寸为2～100μm；当所述边框胶材质为UV固化型或热固化型树脂时，在所述后盖内表面涂布或贴附有干燥剂。

10.一种透明型太阳能电池器件，其特征在于，包括层叠设置的透明前基板、透明正电极层、PV光伏层、反射式金属负电极层、后盖；其中，所述透明正电极层为如权利要求1-2任一项所述方法制成的AZO透明导电膜；在所述AZO透明导电膜表面再沉积一层ITO或IZO透明导电薄膜，所述ITO或IZO透明导电薄膜的厚度小于500nm。