[发明专利]一种具有PEDOT:PSS/石墨烯/GaAs结构的太阳电池及其制备方法在审
申请号: | 202210886270.1 | 申请日: | 2022-07-26 |
公开(公告)号: | CN115000215A | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 李国强;曾庆浩;邓曦;莫由天 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | H01L31/043 | 分类号: | H01L31/043;H01L31/18;H01L51/00;H01L51/42 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 牛念 |
地址: | 510635*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 pedot pss 石墨 gaas 结构 太阳电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种具有PEDOT:PSS/石墨烯/GaAs结构的太阳电池,其特征在于,其结构自下而上依次包括:背面电极、GaAs衬底、石墨烯层、PEDOT:PSS空穴传输层、减反射层、介电层和正面电极。
2.根据权利要求1所述具有PEDOT:PSS/石墨烯/GaAs结构的太阳电池,其特征在于,所述PEDOT:PSS空穴传输层由PEDOT:PSS制备得到,厚度为80~120nm;所述减反射层为20~100nm厚度的Al2O3减反射层。
3.根据权利要求1所述具有PEDOT:PSS/石墨烯/GaAs结构的太阳电池,其特征在于,所述GaAs衬底为N型掺杂的GaAs外延层,晶向为[100],n型掺杂浓度为1×1017~3×1018cm-3。
4.根据权利要求1所述具有PEDOT:PSS/石墨烯/GaAs结构的太阳电池,其特征在于,所述背面电极的厚度为100~250nm的Au电极;GaAs衬底的厚度为300~380μm;石墨烯层为1~5层原子厚度;正面电极为Ag电极,厚度为2-5μm。
5.一种权利要求1~4任意一项所述具有PEDOT:PSS/石墨烯/GaAs结构的太阳电池的制备方法,其特征在于,包含以下步骤:
步骤一,在洁净的N型GaAs衬底的一面蒸镀背面电极,退火处理得到背面电极/N型GaAs衬底;
步骤二,将石墨烯层转移至步骤一N型GaAs衬底的另一面,干燥后得到背面电极/N型GaAs衬底/石墨烯;
步骤三,将PEDOT:PSS水溶液、有机溶剂和表面活性剂混合均匀,得到PEDOT:PSS旋涂液;
步骤四,将步骤三的PEDOT:PSS旋涂液旋涂到步骤二的石墨烯层上形成PEDOT:PSS空穴传输层,然后退火处理;
步骤五,在步骤四的PEDOT:PSS空穴传输层上蒸镀Al2O3,得到减反射层;
步骤六,在步骤五的减反射层的四周加工上介电层,再将正面电极材料涂在所述介电层与减反射层的边界处,形成正面电极,烘干,即得到具有PEDOT:PSS/石墨烯/GaAs结构的太阳电池。
6.根据权利要求5所述具有PEDOT:PSS/石墨烯/GaAs结构的太阳电池的制备方法,其特征在于,步骤一蒸镀背面电极前先对所述N型GaAs衬底进行清洁,步骤二将石墨烯层转移至步骤一N型GaAs衬底前进行清洁;清洁方法如下:依次用丙酮、无水乙醇、水进行超声清洗,然后用酸溶液去除GaAs衬底表面氧化层,最后用氮气吹干。
7.根据权利要求5所述具有PEDOT:PSS/石墨烯/GaAs结构的太阳电池的制备方法,其特征在于,步骤一背面电极的蒸镀速率为0.5~2nm/s;退火处理为将蒸镀后的N型GaAs衬底加热至250~400℃,保温10~40s后,降温至室温。
8.根据权利要求5所述具有PEDOT:PSS/石墨烯/GaAs结构的太阳电池的制备方法,其特征在于,步骤二的干燥温度为100~200℃;将干燥后的背面电极/N型GaAs衬底/石墨烯进行清洗和干燥处理。
9.根据权利要求5所述具有PEDOT:PSS/石墨烯/GaAs结构的太阳电池的制备方法,其特征在于,步骤三所述PEDOT:PSS旋涂液中,PEDOT:PSS水溶液的质量分数为90%~96.5%,有机溶剂的质量分数为3%~8%,表面活性剂的质量分数为0.5%~2%。
10.根据权利要求5所述具有PEDOT:PSS/石墨烯/GaAs结构的太阳电池的制备方法,其特征在于,步骤四中所述退火处理为加热至温度120~140℃,热处理时间为15~30min;步骤五中所述减反射层的蒸镀速率为0.2~0.5nm/s;步骤六中所述烘干的温度为80~120℃,加热烘干时间为30~50min。
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