[发明专利]有机酸型粗化微蚀液及其制备方法

权利要求书

1.一种有机酸型粗化微蚀液，其特征在于，包括有机酸、卤离子、铜离子、络合剂和粗化添加剂，所述卤离子由卤离子源提供，所述铜离子由铜离子源提供；

所述粗化添加剂的浓度为0.0001g/L~2g/L，所述粗化添加剂包括小分子唑类衍生物和含胺基脲的聚合物，所述小分子唑类衍生物和所述含胺基脲的聚合物的质量浓度之比为1~4:4~1，所述小分子唑类衍生物的碳原子数为1~16。

2.根据权利要求1所述的有机酸型粗化微蚀液，其特征在于，所述粗化添加剂的浓度为0.001g/L~0.2g/L。

3.根据权利要求2所述的有机酸型粗化微蚀液，其特征在于，所述小分子唑类衍生物选自苯并噻二唑、苯并咪唑、苯并三氮唑、2-乙基苯并咪唑、2-巯基噻唑和1H-咪唑并[4 ,5-b]吡咯中的至少一种；

所述含胺基脲的聚合物选自烷基二甲基氯化铵与二氧化硫共聚的季铵盐以及二胺基脲聚合物中的至少一种。

4.根据权利要求3所述的有机酸型粗化微蚀液，其特征在于，所述小分子唑类衍生物和所述含胺基脲的聚合物的质量浓度之比为1~2:2~1。

5.根据权利要求1~4中任意一项所述的有机酸型粗化微蚀液，其特征在于，所述有机酸的浓度为10g/L~200g/L，所述卤离子的浓度为1g/L~100g/L，所述铜离子的浓度为1g/L~100g/L，所述络合剂的浓度为0.0001g/L~1g/L。

6.根据权利要求5所述的有机酸型粗化微蚀液，其特征在于，所述有机酸的浓度为20g/L~180g/L，所述有机酸选自甲酸、乙酸、苹果酸、柠檬酸、酒石酸、乙二胺四乙酸、亚氨基二琥珀酸、一氯乙酸、二氯乙酸、三氯乙酸、甘氨酸、丝氨酸、苏氨酸、半胱氨酸和酪氨酸中的至少两种。

7.根据权利要求6所述的有机酸型粗化微蚀液，其特征在于，所述卤离子为氯离子，所述卤离子的浓度为15g/L~85g/L，所述卤离子源选自氯化钠、氯化钙、氯化钾、氯化铵、氯化锌和氯化铁中的一种或二种。

8.根据权利要求7所述的有机酸型粗化微蚀液，其特征在于，所述铜离子的浓度为10g/L~50g/L，所述铜离子源选自硫酸铜、氯化铜、溴化铜和四水合甲酸铜中的至少一种。

9.根据权利要求8所述的有机酸型粗化微蚀液，其特征在于，所述络合剂的浓度为0.001g/L~0.1g/L，所述络合剂为含有胺基的化合物，所述含有胺基的化合物选自甲胺、二甲胺、三甲胺、乙胺、二乙胺、三乙胺、单乙醇胺、二乙醇胺和三乙醇胺中的至少一种。

10.一种如权利要求1~9中任意一项所述的有机酸型粗化微蚀液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

称取铜离子源、有机酸和卤离子源，依次加入去离子水中搅拌溶解得到第一溶液；

称取粗化添加剂和络合剂并溶解到所述第一溶液中，得到第二溶液；以及

将所述第二溶液定容，使得所述粗化添加剂的浓度为0.0001g/L~0.2g/L，得到所需要的有机酸型粗化微蚀液。