[发明专利]一种用于三氯氢硅生产的自动推料系统和推料方法

权利要求书

1.一种用于三氯氢硅生产的自动推料系统，其特征在于，包括硅粉储罐、流化床和控制单元，所述硅粉储罐和流化床之间连接有推料管线；

所述硅粉储罐上接设有氢气接入口，所述硅粉储罐和流化床上分别设有第一压力监测点和第二压力监测点，所述第一压力监测点和所述第二压力监测点均与控制单元电性连接，所述推料管线上设有下料阀，所述下料阀的电气控制元件与控制单元电性连接；

所述控制单元用于计算第一压力监测点和第二压力监测点的压差，控制单元根据压差调整下料阀的启闭状态。

2.根据权利要求1所述的一种用于三氯氢硅生产的自动推料系统，其特征在于，所述推料管线包括一段竖直设于硅粉储罐下方的竖管，所述下料阀包括安装于竖管位置上的第一控制阀、第二控制阀以及第三控制阀。

3.根据权利要求2所述的一种用于三氯氢硅生产的自动推料系统，其特征在于，所述第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀的阀片均垂直于竖管所在的管线。

4.一种用于三氯氢硅生产的自动推料方法，其特征在于，包括根据权利要求1-3任意一项所设置的自动推料系统，所述方法包括如下步骤：

步骤S1：检查相关设备与部件的状态，将自动推料系统设置为初始状态，确认系统运行压差的开始值与结束值；

步骤S2：启动控制单元，检测第一压力监测点和第二压力监测点的压力值并计算压差，打开氢气接入口上的充压阀门，对硅粉储罐进行升压；

步骤S3：在压差首次到达结束值时忽略结束步骤，继续充压；

步骤S4：控制充压阀为打开状态，当压差达到系统运行压差的开始值时，首先控制充压阀门关闭，再控制下料阀打开，硅粉储罐向流化床冲入硅粉；

步骤S5：当压差到达系统运行压差的结束值时，控制下料阀关闭，完成一次推料操作，推料操作完成后开始计算等待时间，直至等待到设定时间间隔；

步骤S6：重复步骤S4-S5，直至产生工作完毕控制各动作机构状态为非工作状态。

5.根据权利要求3所述的一种用于三氯氢硅生产的自动推料方法，其特征在于，系统运行压差的开始值为0.3-0.5MPa，系统运行压差的结束值为0.15-0.2MPa。

6.根据权利要求3所述的一种用于三氯氢硅生产的自动推料方法，其特征在于，所述下料阀由第一控制阀、第二控制阀以及第三控制阀构成，所述第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀均与控制单元电性连接，控制下料阀关闭时，第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀以硅粉流动的正方向依次关闭，控制下料阀打开时，第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀以硅粉流动的反方向依次打开。

7.根据权利要求3所述的一种用于三氯氢硅生产的自动推料方法，其特征在于，所述充压阀门的控制开度为10%-50%。

8.根据权利要求3所述的一种用于三氯氢硅生产的自动推料方法，其特征在于，控制单元采用周期性压差检测，检测时间间隔为30-60min。

9.根据权利要求3所述的一种用于三氯氢硅生产的自动推料方法，其特征在于，所述控制单元还包括系统运行指示灯，所述系统运行指示灯由红绿两种颜色构成，系统异常时仅控制红色系统运行指示灯常亮，系统正常运行时仅控制绿色系统运行指示灯常亮。

10.根据权利要求3所述的一种用于三氯氢硅生产的自动推料方法，其特征在于，还包括复位步骤，所述复位步骤用于在步骤S2-S6出现异常时回归至步骤S1。