[发明专利]光波导装置和光调制器

权利要求书

1.一种光波导装置，所述光波导装置包括：

凹槽，所述凹槽形成在基板中；

一对电极，所述一对电极设置在所述凹槽中；

电光聚合物材料，所述电光聚合物材料位于所述凹槽中；以及

台阶部分，所述台阶部分在所述凹槽的长度方向上形成在所述凹槽的外侧。

2.根据权利要求1所述的光波导装置，其中，

所述台阶部分在所述凹槽的宽度方向上由形成在所述基板中的凹部形成，所述台阶部分形成在所述凹槽与所述凹部之间。

3.根据权利要求1所述的光波导装置，其中，

所述台阶部分是具有突出形状的壁部分，所述壁部分在位于所述凹槽的宽度方向上距离所述凹槽预定距离的位置处形成在所述基板上。

4.根据权利要求1所述的光波导装置，所述光波导装置还包括：

一对突出部分，所述一对突出部分形成在所述凹槽中，所述一对突出部分横跨在所述一对电极的两侧。

5.根据权利要求4所述的光波导装置，其中，

所述一对突出部分具有至少等于所述电光聚合物材料在位于所述凹槽的底部处的位置处的必要厚度的高度。

6.根据权利要求4所述的光波导装置，所述光波导装置还包括：

多个所述一对突出部分，所述多个所述一对突出部分横跨在所述一对电极的两侧。

7.根据权利要求4所述的光波导装置，其中，

所述一对突出部分中的每一个在所述一对电极的长度方向上具有板状形状，或者由多个柱形形状突起构成。

8.一种光调制器，所述光调制器包括：

根据权利要求1所述的光波导装置，所述光波导装置用于马赫-曾德尔干涉仪。

9.根据权利要求8所述的光调制器，所述光调制器还包括：

光源；

驱动器；

偏振组合器；

偏振旋转器；以及

光波导，所述光波导用于光传输。