[发明专利]舟传输装置及管式炉系统在审
申请号: | 202210913938.7 | 申请日: | 2022-07-28 |
公开(公告)号: | CN115312435A | 公开(公告)日: | 2022-11-08 |
发明(设计)人: | 陈云;陈程;廖宝臣 | 申请(专利权)人: | 江苏微导纳米科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/687;H01L31/18 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 柳芳 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传输 装置 管式炉 系统 | ||
本申请公开了一种舟传输装置及管式炉系统,舟传输装置包括桨体和转移组件。桨体用于将多个舟体输送至炉管内,多个所述炉管共用一个所述桨体。转移组件用于将多个所述舟体转移至所述桨体上;所述转移组件包括相连接的安装座和抓取机构,所述抓取机构能相对所述安装座移动,所述抓取机构用于抓取多个所述舟体。本申请提供的舟传输装置,能够提高产能,降低成本,且舟体不易变形。
技术领域
本申请涉及光伏电池技术领域,特别是涉及一种舟传输装置及管式炉系统。
背景技术
本部分的描述仅提供与本说明书公开相关的背景信息,而不构成现有技术。
太阳能电池板生产工艺中的扩散是指在硅片两面通过化学反应制备PN结的一种工艺,扩散是光伏电池生产过程中最重要的工序之一。
管式炉是扩散/热处理领域广泛采用的处理设备,其包括炉管,将基片放置在载体上然后传输至炉管内,这种方式可以实现对基片的批量处理。石英舟是扩散工序所使用的治具。现有技术中的光伏扩散设备通常采用单舟垂直放片方式,且采用单管单桨的方式进行工艺。单舟的产能有限,且整舟较长,导致石英舟在高温下易变形,从而缩短使用周期。另外采用单管单桨的方式,导致整体成本较高。
应该注意,上面对技术背景的介绍只是为了方便对本说明书的技术方案进行清楚、完整的说明,并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本说明书的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
发明内容
本申请主要解决的技术问题是提供一种舟传输装置及管式炉系统,能够提高产能,降低成本,且舟体不易变形。
为解决上述技术问题,本申请采用的一个技术方案是:提供一种舟传输装置,包括:
桨体,用于将多个舟体输送至炉管内,多个所述炉管共用一个所述桨体;
转移组件,用于将多个所述舟体转移至所述桨体上;所述转移组件包括相连接的安装座和抓取机构,所述抓取机构能相对所述安装座移动,所述抓取机构用于抓取多个所述舟体。
进一步地,所述抓取机构包括:
横杆,所述横杆和所述安装座相连,
多个抓取部,均与所述横杆相连,多个所述抓取部能和所述舟体的限位部相抵接。
进一步地,所述抓取机构还包括伸缩杆,所述伸缩杆连接于所述安装座;所述横杆和所述伸缩杆相连。
进一步地,所述安装座及所述伸缩杆的数量为两个,所述横杆的两端分别连接一个所述伸缩杆。
进一步地,所述舟体沿第一方向延伸,所述伸缩杆沿第二方向滑动连接于所述安装座,所述安装座能沿第三方向移动;所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直。
进一步地,所述安装座有两个且沿所述第一方向间隔设置,所述伸缩杆有两个且沿所述第二方向延伸,所述横杆的两端分别连接一个所述伸缩杆。
进一步地,所述抓取部包括相连的夹爪和动力件,所述夹爪具有用于释放所述限位部的第一位置和用于夹持所述限位部的第二位置;所述动力件能驱动所述夹爪移动,以在所述第一位置和所述第二位置之间切换。
进一步地,多个所述动力件均与控制系统相连,所述控制系统能控制多个所述动力件分别同步驱动多个所述夹爪,使多个所述夹爪同步移动。
进一步地,所述抓取部包括固定连接于所述横杆的两个第一托爪和至少一个第二托爪;所述第二托爪位于两个所述第一托爪之间,所述第一托爪和所述第二托爪能与所述限位部相抵接。
进一步地,所述限位部有两个,分别位于所述舟体长度方向相对的两侧;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造