[发明专利]一种上电极组件及半导体处理设备

权利要求书

1.一种上电极组件，应用于半导体处理设备的工艺腔室，其中，所述工艺腔室包括腔室本体和盖设于所述腔室本体上的腔室盖板，其特征在于，所述上电极组件包括：

支架，设置于所述腔室盖板的顶面；

连接筒，贯穿所述腔室盖板设置，并与所述腔室盖板可活动连接；

匀气盘，设置于所述腔室本体内部且与所述连接筒连接；

调平结构，连接于所述连接筒位于所述腔室本体外的一端；

升降驱动结构，连接在所述支架与所述调平结构之间，用于通过所述调平结构带动所述连接筒和所述匀气盘升降；其中，所述调平结构、所述连接筒和所述匀气盘与所述升降驱动结构同轴设置。

2.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，所述调平结构包括：

承拉关节座；

移动平板，与所述升降驱动结构连接，并且所述移动平板的底面与所述承拉关节座的一端固定连接；

水平调节板，位于所述移动平板的下方，并且与所述移动平板之间设有间隙，所述水平调节板可万向转动地与所述承拉关节座的另一端连接，并且所述水平调节板的底面与所述连接筒连接；

间隙调整件，连接在所述移动平板与所述水平调节板之间，用于调整所述移动平板与所述水平调节板之间的间隙。

3.根据权利要求2所述的上电极组件，其特征在于，所述间隙调整件包括至少三个不共线设置的压电传感器；

所述压电传感器设置在所述水平调节板的顶面，并且与所述移动平板抵底连接，或所述压电传感器设置在所述移动平板的底面，并且与所述水平调节板抵顶连接。

4.根据权利要求2所述的上电极组件，其特征在于，所述承拉关节座包括相互连接的固定连接部和活动连接部；

所述移动平板的底面与所述固定连接部连接，所述水平调节板与所述活动连接部连接；

所述活动连接部的侧面为球面；

所述水平调节板上设有第一通孔，所述第一通孔包括靠近所述水平调节板的顶面的第一部分和靠近所述水平调节板的底面的第二部分，所述第一部分与所述第二部分连接；

所述第一部分为与所述球面相配合的曲面，并且所述第一部分在所述水平调节板的顶面的直径小于所述球面的直径，且大于所述固定连接部的直径；

所述第二部分的孔径大于所述球面的直径。

5.根据权利要求4所述的上电极组件，其特征在于，所述承拉关节座还包括连接板，所述连接板可拆卸地连接在所述固定连接部的端面，且沿所述固定连接部的径向延伸并凸出所述固定连接部；

所述固定连接部通过所述连接板与所述移动平板的底面连接。

6.根据权利要求2-5任一项所述的上电极组件，其特征在于，所述移动平板上设有第一连接孔；

所述承拉关节座还包括纵向贯穿所述承拉关节座的第二连接孔，所述第二连接孔与所述第一连接孔同轴设置；

所述升降驱动结构包括：

丝杠螺母，穿过所述第一连接孔并套设在所述第二连接孔中；

丝杠，一端与所述支架连接，另一端与所述丝杠螺母连接。

7.根据权利要求6所述的上电极组件，其特征在于，还包括：

至少两个导向结构，连接在所述支架与所述调平结构之间，并且环绕所述升降驱动结构均匀分布；

所述导向结构包括：

导向轴承，设置于所述调平结构上；

导向轴，一端与所述支架连接，另一端与所述导向轴承连接。

8.根据权利要求6所述的上电极组件，其特征在于，所述水平调节板设有第一气体通道；

所述连接筒设有第二气体通道；

所述匀气盘设有第三气体通道；

所述第一气体通道、所述第二气体通道和所述第三气体通道依次连接形成气体流道；

所述气体流道的进气口设置在所述水平调节板的侧面，所述气体流道的出气口设置在所述匀气盘的底面靠近边缘的位置。