[发明专利]一种溅射靶材组件的回收再利用方法

权利要求书

1.一种溅射靶材组件的回收再利用方法，其特征在于，所述回收再利用方法包括如下步骤：

(1)采用物理分离法分离所述溅射靶材组件，得到背板和溅射靶材；

(2)将步骤(1)所得溅射靶材依次进行碱液浸洗、酸液浸洗、水洗、干燥、熔炼、静置以及浇铸成形后得到金属铸锭。

2.根据权利要求1所述的回收再利用方法，其特征在于，所述溅射靶材组件包括高纯铝靶材组件和/或高纯铝合金靶材组件；

优选地，所述高纯铝合金靶材组件包括高纯铝硅靶材组件、高纯铝铜靶材组件或高纯铝硅铜靶材组件中的任意一种或至少两种的组合。

3.根据权利要求1或2所述的回收再利用方法，其特征在于，步骤(1)所述物理分离法包括车床加工；

优选地，所述车床加工中车削位置低于所述溅射靶材组件焊接线1-5mm。

4.根据权利要求1-3任一项所述的回收再利用方法，其特征在于，步骤(1)所述溅射靶材的纯度≥99.999％。

5.根据权利要求1-4任一项所述的回收再利用方法，其特征在于，步骤(2)所述碱液浸洗中的碱液包括氢氧化钠和/或氢氧化钾；

优选地，步骤(2)所述碱液浸洗中碱液的质量浓度为10-20％；

优选地，步骤(2)所述碱液浸洗的温度为20-30℃；

优选地，步骤(2)所述碱液浸洗的时间为10-30min。

6.根据权利要求1-5任一项所述的回收再利用方法，其特征在于，步骤(2)所述酸液浸洗中的酸液包括硝酸或硝酸和氢氟酸的混合液；

优选地，步骤(2)所述酸液浸洗中酸液的质量浓度为2-10％。

7.根据权利要求1-6任一项所述的回收再利用方法，其特征在于，步骤(2)所述水洗的时间为5-20min；

优选地，步骤(2)所述干燥的温度为30-60℃；

优选地，步骤(2)所述干燥的时间为30-50min。

8.根据权利要求1-7任一项所述的回收再利用方法，其特征在于，步骤(2)熔炼的温度为700-780℃；

优选地，步骤(2)所述熔炼时间为8-12h；

优选地，步骤(2)所述静置的时间为30-90min。

9.根据权利要求1-8任一项所述的回收再利用方法，其特征在于，步骤(2)所述熔炼后还包括调整合金成分的步骤。

10.根据权利要求1-9任一项所述的回收再利用方法，其特征在于，所述回收再利用方法包括如下步骤：

(1)采用车床加工法分离所述溅射靶材组件，得到背板和溅射靶材；所述车床加工中车削位置低于所述溅射靶材组件焊接线1-5mm；

(2)将步骤(1)所得溅射靶材在20-30℃温度下采用质量浓度为10-20％的碱液浸洗10-30min后采用质量浓度为2-10％的酸液进行浸洗、水洗5-20min后在30-60℃温度下干燥30-50min、熔炼、静置30-90min，而后浇铸成形后得到金属铸锭；

其中，所述熔炼的温度为700-780℃，时间为8-12h。