[发明专利]一种基于同步双足驱动的压电步进执行器

权利要求书

1.一种基于同步双足驱动的压电步进执行器，包括定子（1）、滑块（2）、导轨、柔性机构（13）和压电陶瓷，其特征在于，

所述导轨安装于所述定子（1）上，所述导轨包括导轨A（4）和导轨B（11），所述导轨A（4）和所述导轨B（11）平行设置；

所述滑块设置于所述导轨A（4）和所述导轨B（11）之间，并与所述导轨A（4）和所述导轨B（11）滑动配合；

所述柔性机构（13）安装于所述滑块（2）上，所述柔性机构（13）包括四个端部柔性铰链、两对板型柔性铰链（15）、驱动足A（17）、驱动足B（18）和输出端（16）；所述驱动足A（17）和驱动足B（18）平行设置，所述驱动足A（17）和所述驱动足B（18）的两端部均分别与一端部柔性铰链的一端连接，每个端部柔性铰链的另一端与所述板型柔性铰链（15）相连，每对所述板型柔性铰链（15）围合成一个安装槽；两个所述安装槽分别位于所述输出端（16）的两侧；

所述压电陶瓷包括压电陶瓷A（6）和压电陶瓷B（8），所述压电陶瓷A（6）和所述压电陶瓷B（8）分别设置于所述输出端两侧的安装槽内。

2.如权利要求1所述的压电步进执行器，其特征在于，所述端部柔性铰链包括两个正圆柔性铰链（14）。

3.如权利要求2所述的压电步进执行器，其特征在于，所述压电陶瓷A（6）还连接有调节螺栓A（3 ），所述调节螺栓A（3）用于调节所述压电陶瓷A（6）的预紧力；所述压电陶瓷B（8）还连接有调节螺栓B（10），所述调节螺栓B（10）用于调节所述压电陶瓷B（8）的预紧力。

4.如权利要求3所述的压电步进执行器，其特征在于，所述压电陶瓷A（6）与所述安装槽之间设有调节垫片A（5），所述压电陶瓷 B（8 ）与所述安装槽之间设有调节垫片B（9）。

5.如权利要求1-4任一项所述的压电步进执行器，其特征在于，所述驱动足A（17）的外侧连接有预紧螺栓A（7），所述驱动足B（18）的外侧连接有预紧螺栓B（12），所述预紧螺栓A（7）和所述预紧螺栓B（12）均与所述滑块（2）摩擦接触。

6.如权利要求1-4任一项所述的压电步进执行器，其特征在于，所述导轨与所述定子（1）之间形成有滑槽，所述滑块（2）与所述滑槽配合。

7.如权利要求1-4任一项所述的压电步进执行器，其特征在于，所述压电陶瓷A（6）和所述压电陶瓷B（8）的驱动信号为三角波电压信号，且两路三角波电压信号之间的相位差为π/2。

8.如权利要求1-4任一项所述的压电步进执行器，其特征在于，所述柔性机构（13）一体成型。