[发明专利]一种基于超窄线宽相移光栅的激光滤波器及其制作方法

权利要求书

1.一种基于超窄线宽相移光栅的激光滤波器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：对选取的光纤进行预处理，将所述光纤的一端研磨得到光纤透镜；

S2：在所述光纤上对所述光纤透镜的后端进行金属化处理；

S3：对S2中的光纤尾端刻写超窄线宽相移光栅；

S4：将所述超窄线宽相移光栅进行补偿封装，在所述超窄线宽相移光栅外侧并排设置有第一补偿封装部和第二补偿封装部，所述第一补偿封装部的热膨胀系数大于所述第二补偿封装部的热膨胀系数；

S5：将S4得到的光纤与激光芯片连接，通过焊接涂料将金属化光纤位置与所述激光芯片进行耦合焊接。

2.根据权利要求1所述的基于超窄线宽相移光栅的激光滤波器的制作方法，其特征在于，所述步骤S4中，所述第一补偿封装部采用铝材封装，所述第二补偿封装部采用高硼硅玻璃封装。

3.根据权利要求1所述的基于超窄线宽相移光栅的激光滤波器的制作方法，其特征在于，所述步骤S3中，超窄线宽相移光栅的刻写方法为：

搭建刻写平台，包括激光器以及沿光路依次设置的反射镜、柱面镜、相位掩膜板，所述相位掩膜板前设置有所述光纤；

其中，所述反射镜连接有驱动其运动的运动控制平台，所述相位掩膜板下方连接有驱动其运动的压电陶瓷，所述运动控制平台和所述压电陶瓷连接有控制系统。

4.根据权利要求3所述的基于超窄线宽相移光栅的激光滤波器的制作方法，其特征在于，所述柱面镜和所述相位掩膜板之间的间距与所述柱面镜的焦距相等。

5.根据权利要求1所述的基于超窄线宽相移光栅的激光滤波器的制作方法，其特征在于，所述超窄线宽相移光栅的线宽为30MHZ～1000MHZ，反射率大于10dB。

6.根据权利要求1所述的基于超窄线宽相移光栅的激光滤波器的制作方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述光纤透镜为锥形或楔形，所述光纤透镜的楔形角度为10～150°，曲率半径为3～20μm，偏轴2°。

7.根据权利要求1所述的基于超窄线宽相移光栅的激光滤波器的制作方法，其特征在于，所述步骤S2中，光纤金属化处理处的膜层厚度为1～10μm。

8.根据权利要求1所述的基于超窄线宽相移光栅的激光滤波器的制作方法，其特征在于，所述光纤包括纤芯、包层和涂覆层，所述包层包覆在所述纤芯外侧，所述涂覆层设置在所述包层外侧。

9.根据权利要求1所述的基于超窄线宽相移光栅的激光滤波器的制作方法，其特征在于，所述步骤S5中，所述焊接涂料为AuSn20，焊接温度为290℃，焊接时间小于10S。

10.一种基于超窄线宽相移光栅的激光滤波器，其特征在于，采用如权利要求1-9任一所述的基于超窄线宽相移光栅的激光滤波器的制作方法制作的激光滤波器。