[发明专利]一种氮气柜进气加热装置及控制系统

权利要求书

1.一种氮气柜进气加热装置，其特征在于：包括气体流量感知模块、加热模块、控制模块和电源模块；所述气体流量感知模块包括具有进气口的第一腔体和设置于所述第一腔体内的热量调节装置；加热模块包括具有出气口的第二腔体和加热件；所述第一腔体和所述第二腔体之间经通气孔相通；所述热量调节装置和所述加热件均与所述控制模块电连接，所述控制模块与电源模块电连接。

2.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于：所述第一腔体中靠近所述进气口的一侧腔体横截面较窄，由所述进气口至所述通气孔方向腔体的所述横截面沿高度方向逐渐增大。

3.如权利要求2所述的加热装置，其特征在于：所述热量调节装置包括气体挡片、挡片阻力弹簧、弹簧导杆和滑变电阻；所述弹簧导杆的一端固定连接于所述第一腔体设有所述通气孔一侧的内壁上，所述挡片阻力弹簧套设于所述弹簧导杆上，所述气体挡片穿设于所述弹簧导杆，且该气体挡片的一侧与所述挡片阻力弹簧连接，所述气体挡片的下端还设有连接所述滑变电阻的滑块；所述气体挡片的横截面与所述第一腔体较窄一侧的横截面基本一致。

4.如权利要求3所述的加热装置，其特征在于：所述滑变电阻设置于所述第一腔体的底部。

5.如权利要求4所述的加热装置，其特征在于：所述控制模块包括可变调压器，所述可变调压器的信号输入端通过第一连接线与所述滑变电阻接线端连接，所述可变调压器的信号输出端通过第二连接线与所述加热件电连接。

6.如权利要求5所述的加热装置，其特征在于：所述加热件是电热丝或电热板或电热棒。

7.一种氮气柜进气温度控制系统，包括氮气柜、计算分析模块、流量传感器、温度传感器、气源和如权利要求1-6任一项所述的加热装置，所述流量传感器和所述温度传感器均于所述计算分析模块电连接。

8.如权利要求7所述的控制系统，其特征在于：所述气源通过第一输气管与所述第一腔体的所述进气口连接，所述出气口经所述第二输气管与所述氮气柜相通；所述流量传感器设于所述第一输气管上，所述温度传感器设于所述氮气柜内。

9.如权利要求8所述的控制系统，其特征在于：所述流量传感器为流量计，所述温度传感器为温湿度传感器。

10.如权利要求9所述的控制系统，其特征在于：所述计算分析模块包括具有触摸显示屏的PC机。