[发明专利]一种晶圆传片系统

权利要求书

1.一种晶圆传片系统，其特征在于，所述晶圆传片系统包括：载台、传片机器人、寻边机和控制器；

所述载台用于放置晶圆花篮；

所述传片机器人用于从所述载台上将所述晶圆花篮中的晶圆传输至所述寻边机，还用于将所述晶圆从所述寻边机传输至下游设备；

所述寻边机用于纠正晶圆的姿态；

所述控制器用于在将所述传片机器人获得的晶圆信息处理后，分别向所述传片机器人和所述寻边机发送数据指令，使所述传片机器人将所述晶圆从所述载台传输至所述寻边机，所述寻边机为所述下游设备提供姿态正确的晶圆。

2.根据权利要求1所述的晶圆传片系统，其特征在于，所述晶圆传片系统包括多个所述载台，所述载台还用于放置不同晶圆尺寸对应晶圆的晶圆花篮。

3.根据权利要求1所述的晶圆传片系统，其特征在于，所述载台包括位置传感器，所述位置传感器用于获取所述载台上是否放置晶圆花篮。

4.根据权利要求3所述的晶圆传片系统，其特征在于，所述载台包括凸片检测器；所述凸片检测器用于检测所述晶圆花篮中晶圆的凸片信息。

5.根据权利要求1所述的晶圆传片系统，其特征在于，所述载台可拆卸设置于所述晶圆传片系统。

6.根据权利要求1所述的晶圆传片系统，其特征在于，所述传片机器人包括：机械手臂、z轴和转动台；所述机械手臂在水平面内运动，所述z轴沿z轴方向移动，所述转动台用于转动；使所述传片机器人实现所述晶圆的传输。

7.根据权利要求1所述的晶圆传片系统，其特征在于，所述传片机器人设置有激光传感器，所述激光传感器用于获知所述载台上晶圆花篮中每层放置位置是否有晶圆。

8.根据权利要求1所述的晶圆传片系统，其特征在于，所述控制器包括第一控制器、第二控制器和第三控制器；

所述载台与所述传片机器人依次通过第一控制器和第二控制器连接，所述第一控制理器用于接收所述载台获得的晶圆信息，并将所述晶圆信息分析处理后传输至所述第二控制器，其中所述第二控制器用于向所述传片机器人机发送扫描所述晶圆花篮的指令信息以及向所述传片机器人发送将所述晶圆传输至所述寻边机的指令信息；所述第三控制器接收所述第一控制器和所述第二控制器的数据信息并进行分析处理。

9.根据权利要求4或8所述的晶圆传片系统，其特征在于，所述控制器还包括辅助控制器，所述辅助控制器分别与所述载台上的位置传感器、凸片检测器连接，用于将所述位置信息和凸片信息发送至第一控制器，以及经由所述第一控制器发送至第三控制器。

10.根据权利要求1所述的晶圆传片系统，其特征在于，所述晶圆传片系统包括框架，所述框架用于放置所述传片机器人、所述寻边机和所述控制器，所述传片机器人、所述寻边机和所述控制器均通过设置于所述框架上的安装板，由螺钉固定连接于所述框架。