[发明专利]一种射频电源信号采集方法及装置

权利要求书

1.一种射频电源信号采集方法，其特征在于，所述方法包括信号采样阶段，所述信号采样阶段包括：

根据预设功率上升阈值、预设功率下降阈值、预设上升沿填补数据个数和预设下降沿填补数据个数分别确定当前脉冲周期内的上升沿数据填补区间和下降沿数据填补区间；

在采样过程中，将采样数组中所述上升沿数据填补区间和所述下降沿数据填补区间对应的数据位填补0、空信号数值或信号低位数值。

2.根据权利要求1所述的射频电源信号采集方法，其特征在于，在所述信号采样阶段之前，所述方法还包括：

采样测试阶段，通过连续采样测试获取所述预设功率上升阈值、所述预设功率下降阈值、预设上升沿填补数据个数和预设下降沿填补数据个数。

3.根据权利要求2所述的射频电源信号采集方法，其特征在于，所述通过连续采样测试获取所述预设功率上升阈值、所述预设功率下降阈值、预设上升沿填补数据个数和预设下降沿填补数据个数包括：

连续采集多个采样点的第一射频电源信号，每个所述第一射频电源信号包括第一电压V和第一电流I；

根据所述第一电压V和所述第一电流I确定所述预设功率上升阈值、所述预设功率下降阈值、预设上升沿填补数据个数和预设下降沿填补数据个数。

4.根据权利要求2所述的射频电源信号采集方法，其特征在于，所述根据预设功率上升阈值、预设功率下降阈值、预设上升沿填补数据个数和预设下降沿填补数据个数分别确定当前脉冲周期内的上升沿数据填补区间和下降沿数据填补区间包括：

连续采集多个采样点的第二射频电源信号，每个所述第二射频电源信号包括第二电压V和第二电流I；

根据所述第二电压V和所述第二电流I确定每个采样点的功率；

根据每个所述采样点的功率、所述功率上升阈值和所述上升沿填补数据个数确定所述上升沿数据填补区间的起始点和所述预设上升沿填补数据个数；

根据每个所述采样点的功率、所述功率下降阈值和所述下降沿填补数据个数确定所述下降沿数据填补区间的起始点和所述预设下降沿填补数据个数。

5.根据权利要求3所述的射频电源信号采集方法，其特征在于，所述根据所述第一电压V和所述第一电流I确定所述预设功率上升阈值、所述预设功率下降阈值、预设上升沿填补数据个数和预设下降沿填补数据个数包括：

由P=VI计算每个采样点的功率值，得到：零电位后的第一个特定功率值P_r，顶电位功率均值P_e后的第一个非P_e功率值P_d，将P_r作为所述预设功率上升阈值，将P_d作为所述预设功率下降阈值。

6.根据权利要求5所述的射频电源信号采集方法，其特征在于，所述根据所述第一电压V和所述第一电流I确定所述预设功率上升阈值、所述预设功率下降阈值、预设上升沿填补数据个数和预设下降沿填补数据个数还包括：

根据T_r/T确定上升沿过程中所述预设上升沿填补数据个数，根据T_d/T确定下降沿过程中所述预设下降沿填补数据个数，T_d为下降沿时间，T_r为上升沿时间，T为采样周期。

7.根据权利要求1所述的射频电源信号采集方法，其特征在于，所述信号采样阶段还包括：

在所述上升沿数据填补区间和所述下降沿数据填补区间以外的时间内采集并输出相应采样点数据。