[发明专利]物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，

所述物理量传感器具备：

可动体，包括旋转轴、与所述旋转轴连接并沿与所述旋转轴交叉的交叉方向设置的连结部以及与所述连结部连接的质量部；

检测电极，设置于支承基板上，与所述质量部相对；以及

突起，从所述支承基板朝向所述质量部突出，

在所述交叉方向上，当将从所述连结部与所述质量部的连接位置到所述质量部的与所述旋转轴相反一侧的端部的距离设为L，且将从所述突起到所述质量部的与所述旋转轴相反一侧的端部的距离设为L1时，L1为0.18L以上且0.88L以下，

所述突起相对于在所述旋转轴的轴线方向上将所述可动体二等分的中心线呈线对称设置。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述突起设有多个，且设置于与所述旋转轴平行的直线上。

3.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，

所述质量部相对于所述旋转轴呈线对称配置有两个，

所述突起相对于所述旋转轴呈线对称设置。

4.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，

所述质量部具有呈格子状贯通的开口，

所述突起设置于与呈两行两列的四个开口的中心对应的位置。

5.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，

所述可动体具有形成于所述连结部与所述质量部之间的狭缝，

所述连结部根据所述狭缝而延长。

6.一种复合传感器，其特征在于，

所述复合传感器具备：

权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器；以及

角速度传感器。

7.一种惯性测量单元，其特征在于，

所述惯性测量单元具备：

权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器；

角速度传感器；以及

控制部，对所述物理量传感器及所述角速度传感器进行控制。

8.一种便携式电子设备，其特征在于，

所述便携式电子设备具备：

权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器；

壳体，收容有所述物理量传感器；

处理部，收容于所述壳体，对从所述物理量传感器输出的输出数据进行处理；

显示部，收容于所述壳体；以及

透光性罩，堵塞所述壳体的开口部。

9.一种电子设备，其特征在于，

所述电子设备具备：

权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器；以及

控制部，基于从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。

10.一种移动体，其特征在于，

所述移动体具备：

权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器；以及

控制部，基于从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。