[发明专利]一种温度梯度调控的化学气相沉积制备疏水膜的方法有效
申请号: | 202210950369.3 | 申请日: | 2022-08-09 |
公开(公告)号: | CN115491653B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 邓旭;戴子忆;王德辉 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学(深圳)高等研究院 |
主分类号: | C23C16/02 | 分类号: | C23C16/02;C23C16/06 |
代理公司: | 泰和泰律师事务所 51219 | 代理人: | 刘梦菲 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区观澜街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 温度梯度 调控 化学 沉积 制备 疏水 方法 | ||
1.一种用于制备疏水膜的前体溶液,其特征在于,包含树脂原料、溶剂、成膜剂、分散剂;
其中,所述树脂原料为选自全氟聚醚改性的聚酯树脂或环氧树脂、PVDF、PTFE、全氟聚醚硅烷、PFVE、PFA、ETFE、CYTOP、LUMIFLON、Nafion NR40、Viton GLT-S、Viton ETP-S、ECCtreme ECA、AF的一种或多种;
所述溶剂为选自乙酸乙酯、丙酮、乙醇、FC40、MIBK、甲乙酮、二甲苯的一种或多种;
所述成膜剂为选自丁二烯、苯乙烯、丙烯酸酯、丙烯腈、丙烯酰胺的一种或多种;
所述分散剂为选自乙基己基磷酸、十二烷基硫酸钠、甲基戊醇、纤维素衍生物、聚丙烯酰胺、古尔胶、脂肪酸聚乙二醇酯、HY512、Ultra PX 4290的一种或多种。
2.根据权利要求1所述的前体溶液,其中,所述树脂原料稀释溶解在所述溶剂中的稀释比例为0.1‰-50%。
3.根据权利要求1或2所述的前体溶液,其中,所述成膜剂在所述前体溶液中的质量分数为1‰-50‰。
4.根据权利要求1或2所述的前体溶液,其中,所述分散剂在所述前体溶液中的质量分数为3‰-15‰。
5.根据权利要求1所述的前体溶液,其进一步包含着色剂或颜料。
6.利用根据权利要求1-5任一项所述的前体溶液制备疏水膜的方法,包括以下步骤:
S1:以等离子体对待处理的物件表面进行预清洁处理;
S2:将经过预清洁处理的物件与配好的前体溶液共同置于气密容器中,密封;
S3:将加热器预热至温度T1,将所述气密容器置于预热好的加热器中;
S4:将加热器温度逐渐提升至T2,在温度T2保持一段时间,由所述前体溶液转变成的气体发生固化交联,在物件表面形成疏水膜。
7.根据权利要求6所述的方法,其中,在步骤S2中,每平方厘米物件表面使用0.04-2mL前体溶液。
8.根据权利要求6所述的方法,其中,所述T1的范围为30-120℃,所述T2的范围为100-220℃。
9.根据权利要求6所述的方法,其中,在步骤S2中,所述气密容器为真空罐,将经过预清洁处理的物件与配好的前体溶液共同置于真空罐密封后,将真空罐抽至1×102-1×10-5Pa的真空度。
10.根据权利要求6所述的方法,其中,在步骤S4中,在0.5-5小时的时间内将温度从T1提升至T2,然后在温度T2保持0.4-3小时。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的