[发明专利]一种温度梯度调控的化学气相沉积制备疏水膜的方法有效

专利信息
申请号: 202210950369.3 申请日: 2022-08-09
公开(公告)号: CN115491653B 公开(公告)日: 2023-10-27
发明(设计)人: 邓旭;戴子忆;王德辉 申请(专利权)人: 电子科技大学(深圳)高等研究院
主分类号: C23C16/02 分类号: C23C16/02;C23C16/06
代理公司: 泰和泰律师事务所 51219 代理人: 刘梦菲
地址: 518000 广东省深圳市龙华区观澜街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 温度梯度 调控 化学 沉积 制备 疏水 方法
【权利要求书】:

1.一种用于制备疏水膜的前体溶液,其特征在于,包含树脂原料、溶剂、成膜剂、分散剂;

其中,所述树脂原料为选自全氟聚醚改性的聚酯树脂或环氧树脂、PVDF、PTFE、全氟聚醚硅烷、PFVE、PFA、ETFE、CYTOP、LUMIFLON、Nafion NR40、Viton GLT-S、Viton ETP-S、ECCtreme ECA、AF的一种或多种;

所述溶剂为选自乙酸乙酯、丙酮、乙醇、FC40、MIBK、甲乙酮、二甲苯的一种或多种;

所述成膜剂为选自丁二烯、苯乙烯、丙烯酸酯、丙烯腈、丙烯酰胺的一种或多种;

所述分散剂为选自乙基己基磷酸、十二烷基硫酸钠、甲基戊醇、纤维素衍生物、聚丙烯酰胺、古尔胶、脂肪酸聚乙二醇酯、HY512、Ultra PX 4290的一种或多种。

2.根据权利要求1所述的前体溶液,其中,所述树脂原料稀释溶解在所述溶剂中的稀释比例为0.1‰-50%。

3.根据权利要求1或2所述的前体溶液,其中,所述成膜剂在所述前体溶液中的质量分数为1‰-50‰。

4.根据权利要求1或2所述的前体溶液,其中,所述分散剂在所述前体溶液中的质量分数为3‰-15‰。

5.根据权利要求1所述的前体溶液,其进一步包含着色剂或颜料。

6.利用根据权利要求1-5任一项所述的前体溶液制备疏水膜的方法,包括以下步骤:

S1:以等离子体对待处理的物件表面进行预清洁处理;

S2:将经过预清洁处理的物件与配好的前体溶液共同置于气密容器中,密封;

S3:将加热器预热至温度T1,将所述气密容器置于预热好的加热器中;

S4:将加热器温度逐渐提升至T2,在温度T2保持一段时间,由所述前体溶液转变成的气体发生固化交联,在物件表面形成疏水膜。

7.根据权利要求6所述的方法,其中,在步骤S2中,每平方厘米物件表面使用0.04-2mL前体溶液。

8.根据权利要求6所述的方法,其中,所述T1的范围为30-120℃,所述T2的范围为100-220℃。

9.根据权利要求6所述的方法,其中,在步骤S2中,所述气密容器为真空罐,将经过预清洁处理的物件与配好的前体溶液共同置于真空罐密封后,将真空罐抽至1×102-1×10-5Pa的真空度。

10.根据权利要求6所述的方法,其中,在步骤S4中,在0.5-5小时的时间内将温度从T1提升至T2,然后在温度T2保持0.4-3小时。

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