[发明专利]一种紫外成像仪测量线性度的测试设备、方法及系统

权利要求书

1.一种紫外成像仪测量线性度的测试设备，其特征在于，包括：

紫外光源，用于提供测试紫外成像仪的测量线性度的光源；

遮光部件，设置在所述紫外光源与所述紫外成像仪之间的光路上；

所述遮光部件包括：

遮光圆盘，所述遮光圆盘上开设有至少一透光开口；

至少一弹性部件，一端与所述遮光圆盘固定连接；

至少一遮光片，与所述弹性部件的另一端连接，在所述遮光圆盘静止时遮挡所述透光开口，并在所述遮光圆盘转动时与所述弹性部件配合，动态调整所述透光开口的透光量；

伺服电机，与所述遮光圆盘连接，用于带动所述遮光圆盘绕其圆心进行转动。

2.根据权利要求1所述的测试设备，其特征在于，所述遮光圆盘为水平设置。

3.根据权利要求2所述的测试设备，其特征在于，所述遮光圆盘与所述伺服电机同轴设置，所述紫外光源为环形阵列光源。

4.根据权利要求3所述的测试设备，其特征在于，

所述环形阵列光源的环形内径大小等于所述遮光圆盘静止时，所述遮光圆盘圆心到所述遮光片的距离；

所述环形阵列光源的环形外径大小等于所述遮光片所能移动的最大径向距离。

5.根据权利要求2所述的测试设备，其特征在于，还包括：积分球，所述积分球设置在所述紫外光源与所述遮光圆盘之间的光路上；

所述遮光部件轴部与所述伺服电机轴部并列设置，且所述遮光圆盘通过齿轮与所述伺服电机连接。

6.一种利用权利要求1至5任一项所述紫外成像仪测量线性度的测试设备测试紫外成像仪测量线性度的方法，其特征在于，包括：

根据弹性部件的弹性系数确定矩形片所受到的弹性力；

根据矩形片性质参数以及所述遮光圆盘的旋转角速度确定所述矩形片所受到的离心力；

根据所述弹性力、所述离心力、所述矩形片数量、紫外光源的性能参数以及所述矩形片性质参数确定预设时间内通过遮光圆盘的光能量；

确定所述光能量以及紫外成像仪所测量的紫外光子数之间的相关系数，以测试紫外成像仪的测量线性度。

7.根据权利要求6所述的测试紫外成像仪测量线性度的方法，其特征在于，所述矩形片性质参数包括：所述矩形片的长度、宽度以及质量。

8.根据权利要求7所述的测试紫外成像仪测量线性度的方法，其特征在于，所述根据矩形片性质参数以及所述遮光圆盘的旋转角速度确定所述矩形片所受到的离心力，包括：

根据所述矩形片的长以及质量确定所述矩形片单位长度的质量；

确定所述遮光圆盘以所述旋转角速度旋转时所述弹性部件的弹性力；

根据所述弹性力以及所述矩形片单位长度的质量确定所述矩形片所受到的离心力。

9.根据权利要求7所述的测试紫外成像仪测量线性度的方法，其特征在于，所述紫外成像仪的镜头与所述遮光圆盘之间的距离小于预设阈值。

10.根据权利要求9所述的测试紫外成像仪测量线性度的方法，其特征在于，所述根据所述弹性力、所述离心力、所述矩形片数量、紫外光源的性能参数以及所述矩形片性质参数确定预设时间内通过遮光圆盘的光能量，包括：

根据所述离心力确定所述遮光圆盘以所述旋转角速度旋转时所述矩形片的径向移动距离；

根据所述紫外光源的性能参数确定到达所述遮光圆盘的紫外光单位面积功率密度；

根据所述紫外光单位面积功率密度、所述矩形片数量、所述矩形片的宽以及所述矩形片的径向移动距离确定预设时间内通过遮光圆盘的光能量。

11.根据权利要求6所述的测试紫外成像仪测量线性度的方法，其特征在于，还包括：

根据所欲实现的光能量确定所述遮光圆盘的旋转角速度。