[发明专利]一种太赫兹波产生装置

权利要求书

1.一种太赫兹波产生装置，其特征在于，包括脉冲激光器和射流靶发生器；

所述射流靶发生器包括固定连接的储液罐和真空腔，所述储液罐和所述真空腔的连接处设置有喷嘴，所述储液罐用于存储金属液体，所述金属液体通过所述喷嘴后在所述真空腔内形成射流靶；

所述真空腔的一侧设置有入射窗口，所述脉冲激光器输出的脉冲激光经过所述入射窗口后作用在所述射流靶，以激发太赫兹波。

2.根据权利要求1所述的太赫兹波产生装置，其特征在于，还包括汇聚透镜组，设置于所述脉冲激光器与所述入射窗口之间，所述汇聚透镜组包括至少一片汇聚透镜，用于将所述脉冲激光聚焦至所述射流靶的表面。

3.根据权利要求1所述的太赫兹波产生装置，其特征在于，所述射流靶发生器还包括温度控制单元，所述温度控制单元用于控制所述储液罐的温度，以使所述储液罐中的金属保持液体状态。

4.根据权利要求3所述的太赫兹波产生装置，其特征在于，所述温度控制单元包括加热线圈、隔热层、热电偶和温度控制器；

所述加热线圈围绕所述储液罐的侧壁，所述隔热层覆盖所述加热线圈，所述热电偶与所述金属液体接触，所述加热线圈和所述热电偶均与所述温度控制器连接。

5.根据权利要求1所述的太赫兹波产生装置，其特征在于，所述射流靶发生器还包括气压调节单元，所述储液罐和所述真空腔均与所述气压调节单元连接。

6.根据权利要求5所述的太赫兹波产生装置，其特征在于，所述气压调节单元包括氮气瓶、机械泵、第一管路、第二管路和阀门；

所述第一管路的第一端与所述储液罐连接，所述第一管路的第二端与所述氮气瓶连接；

所述第二管路的第一端与所述真空腔连接，所述第二管路的第二端与所述机械泵连接；

所述第一管路和所述第二管路连通为四通管路，所述阀门包括设置在所述四通管路的四个阀门。

7.根据权利要求1所述的太赫兹波产生装置，其特征在于，所述射流靶发生器还包括回收腔，所述回收腔设置于所述真空腔远离所述储液罐的一侧且与所述真空腔连接。

8.根据权利要求1所述的太赫兹波产生装置，其特征在于，还包括三维位移平台，所述脉冲激光器位于所述三维位移平台上。

9.根据权利要求1所述的太赫兹波产生装置，其特征在于，所述金属液体包括锡、铋、镓、铟或者由锡、铋、镓、铟中的至少两者形成的合金。

10.根据权利要求1所述的太赫兹波产生装置，其特征在于，所述喷嘴包括红宝石材料或蓝宝石材料，所述喷嘴的中心包括圆台或梯台形状的通孔；

沿所述储液罐指向所述真空腔的方向，所述通孔的截面积减小。