[发明专利]一种真空压强测量装置、方法及系统

权利要求书

1.一种真空压强测量装置，其特征在于，包括：用于模拟应用场景气压环境的腔体、设置在所述腔体内的真空压强传感器以及与所述真空压强传感器连接的电信号测量仪；其中，所述真空压强传感器包括：

基板，与所述电信号测量仪连接；

发光元件，与所述基板连接，用于产生光；

收光元件，与所述基板连接，用接收所述发光元件发射的光并产生电信号；

气泡膜，包覆在所述发光元件与所述收光元件上，用于对所述发光元件发射的光进行反射；

所述电信号测量仪用于对所述收光元件产生的电信号进行检测；

其中，根据所述电信号测量仪测得的电信号的变化量可测算所述腔体内的气压强度。

2.根据权利要求1所述的真空压强测量装置，其特征在于，还包括：电源；所述电源与所述基板连接，用于为所述真空压强传感器供电。

3.根据权利要求1所述的真空压强测量装置，其特征在于，还包括：光耦合层；所述光耦合层连接在所述气泡膜与所述发光元件、所述收光元件之间；其中，所述气泡膜包覆在所述光耦合层外侧。

4.根据权利要求1或3所述的真空压强测量装置，其特征在于，所述气泡膜内设置有密闭空间，所述密闭空间内设置有若干气泡，所述气泡的体积随所述腔体内气压强度的大小变化。

5.根据权利要求4所述的真空压强测量装置，其特征在于，所述气泡膜为柔性材料制成。

6.根据权利要求5所述的真空压强测量装置，其特征在于，所述柔性材料为聚二甲基硅氧烷。

7.根据权利要求1所述的真空压强测量装置，其特征在于，还包括：基座；所述腔体与所述真空压强传感器设置在所述基座上。

8.一种应用于权利要求1-7任一项所述的真空压强测量装置的真空压强测量方法，其特征在于，包括：

通过调整腔体内的气压强度的大小以模拟应用场景气压环境中需要监测的气压变化；

气泡膜在气压产生变化的作用下使得发光元件发射的部分光的折射角发生变化；

收光元件接收到气泡膜反射的光的光强产生相应的变化，使得收光元件产生的电信号产生相应的变化；

电信号测量仪根据收光元件产生的电信号检测电信号的变化量；

根据电信号的变化量测算所述腔体内气压强度的大小。

9.根据权利要求8所述的真空压强测量方法，其特征在于，所述通过调整腔体内的气压强度大小以模拟应用场景气压环境中需要监测的气压变化的步骤之前包括：

开启电信号测量仪并对真空压强传感器进行通电；

对收光元件产生的电信号进行测量。

10.一种真空压强测量系统，其特征在于，包括处理器以及如权利要求1-7任一项所述的真空压强测量装置；所述处理器与所述电信号测量仪连接，用于根据所述电信号测量仪测量得到的电信号的变化量测算所述腔体内的气压强度。