[发明专利]一种极限电流型氧传感器的制备方法

权利要求书

1.一种极限电流型氧传感器的制备方法，其特征在于，其包括以下步骤：一、生瓷块的加工；选用三块厚度为0.1-0.25mm的氧化锆生瓷块分别为生瓷块一、生瓷块二和生瓷块三，其中生瓷块一的顶部由下往上依次通过印刷的方式形成绝缘层一、加热器层和绝缘层二；

生瓷片二的中部挖空形成空腔，生瓷片二的顶部还通过使用混合浆料印刷的方式印刷出厚度为1-12微米的牺牲层一，混合浆料由碳和聚碳酸酯按照重量比例0.1：9.9~1：9混合而成；

生瓷片三通过冲孔并填充导电材料形成导电通孔，其顶部通过印刷的方式形成位于顶部的并与导电通孔连接的泵内电极层、位于底部的泵外电极层、位于底部的与所述泵外电极层连接的电极焊区层一、位于底部的与所述导电通孔连接的电极焊区层二；

二、堆叠；将加工完成后的所述生瓷块一、所述生瓷块二和所述生瓷块三由上至下依次堆叠，堆叠过程中，所述生瓷块二的空腔中填入由碳基生瓷构成的牺牲层二，所述牺牲层二的厚度与所述生瓷块二的厚度相等；

三、层压；将堆叠完成后的生瓷块一、生瓷块二和生瓷块三在70-90摄氏度下采用3000-6000psi的压力水等静压，通过层压使牺牲层一向下压入生瓷片二中；

四、切割；根据所需尺寸在70-85摄氏度的台面温度下切割；

五、烧结；切割完成后对生瓷块在1350-1500摄氏度的温度下进行烧结形成极限电流型氧传感器，极限电流型氧传感器呈方形并且单边长度为3-6mm，厚度为0.4-1mm，烧结过程中所述牺牲层二挥发形成容纳所述泵内电极层的空腔，所述牺牲层一挥发形成进气腔，所述进气腔连通所述空腔和所述极限电流型氧传感器的外部。

2.根据权利要求1所述的一种极限电流型氧传感器的制备方法，其特征在于：所述绝缘层一和所述绝缘层二的材料为氧化铝，所述加热器层、所述泵外电极层、所述泵内电极层、所述电极焊区层一和所述电极焊区层二的材料为铂，生瓷块中还添加有三氧化二钇。

3.根据权利要求2所述的一种极限电流型氧传感器的制备方法，其特征在于：所述泵外电极层与所述泵内电极层上下位置相互对应。

4.根据权利要求2或3所述的一种极限电流型氧传感器的制备方法，其特征在于：所述加热器层呈S型均匀分布在所述绝缘层一和所述绝缘层二之间，所述加热器层两端分别连接加热器焊区，所述绝缘层二对应所述加热层焊区的位置呈镂空状。