[发明专利]低膨胀合金4J36精密箔材及其超细晶固溶热处理方法和应用

说明书

本发明属于不锈钢热处理技术领域，涉及一种低膨胀合金4J36精密箔材及其超细晶固溶热处理方法和应用。具体的，本发明提供的低膨胀合金4J36精密箔材超细晶固溶热处理方法，依次包括：原料初轧工序、中间热处理工序、成品轧制工序及成品固溶热处理工序。本发明实现了厚度0.03mm低膨胀合金4J36精密箔材细晶化固溶热处理，满足OLED显示屏行业精密蚀刻加工需求。

技术领域

本发明属于不锈钢热处理技术领域，涉及特种合金箔材的固溶热处理方法，尤其涉及一种低膨胀合金4J36精密箔材及其超细晶固溶热处理方法和应用。

背景技术

4J36低膨胀合金又称因瓦合金，合金的居里点约为230℃，低于这一温度时合金是铁磁性的，具有很低的膨胀系数，高于这一温度时合金为无磁性的，膨胀系数增大。低膨胀合金4J36精密箔材主要应用于OLED显示屏生产，是产线中关键模板FMM的基础材料。

目前，国内生产厚度0.03mm低膨胀合金4J36精密箔材产品还未见报道，查验国际低膨胀合金4J36精密箔材市场，日本企业可生产厚度0.03mm及以下4J36箔材。然而，国内此类产品全部依赖进口，相关产品的制备工艺在国内为空白。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术的缺陷，提供了一种低膨胀合金4J36精密箔材及其超细晶固溶热处理方法和应用。

具体的，第一方面，本发明提供的低膨胀合金4J36精密箔材超细晶固溶热处理方法，依次包括：原料初轧工序、中间热处理工序、成品轧制工序及成品固溶热处理工序。

上述的低膨胀合金4J36精密箔材超细晶固溶热处理方法，所述原料初轧工序中，原料厚度≤0.4mm，初轧目标厚度为0.1mm。

上述的低膨胀合金4J36精密箔材超细晶固溶热处理方法，所述原料初轧工序中，初轧总变形量≥60％，初轧道次不低于5道次，轧制力不高于350KN，轧制速度不高于300m/min。

上述的低膨胀合金4J36精密箔材超细晶固溶热处理方法，所述中间热处理工序中，炉温为950-1150℃，热处理炉内工艺速度不低于30m/min，冷却风机转速不高于1500r/min，炉内氢气露点不高于-63℃，炉内氧含量不高于10ppm。

上述的低膨胀合金4J36精密箔材超细晶固溶热处理方法，所述成品轧制工序中，轧制的目标厚度为0.03mm及以下；初轧总变形量≥75％，初轧道次不低于5道次，轧制力不高于350KN，轧制速度不高于200m/min。

上述的低膨胀合金4J36精密箔材超细晶固溶热处理方法，所述成品固溶热处理工序采用全氢立式环形分段加热方式进行。

上述的低膨胀合金4J36精密箔材超细晶固溶热处理方法，所述成品固溶热处理工序中，第一段和第二段热处理温度不高于800℃，第三段和第四段热处理温度不高于920℃；固溶热处理速度不低于35m/min；冷却风机转速不高于1000r/min；炉内氢气露点不高于-75℃；炉内氧含量不高于10ppm。

另一方面，本发明还提供了一种低膨胀合金4J36精密箔材，其采用上述的低膨胀合金4J36精密箔材超细晶固溶热处理方法进行处理。

上述的低膨胀合金4J36精密箔材，所述低膨胀合金4J36精密箔材的厚度≤0.03mm，晶粒尺寸≤5μm。

又一方面，本发明还提供了上述的低膨胀合金4J36精密箔材在生产OLED显示屏中的应用。

本发明的技术方案具有如下的有益效果：

本发明通过对低膨胀合金4J36带材原料进行双轧程大变形量轧制、中间高温低速热处理、成品低温高速热处理，实现了厚度0.03mm低膨胀合金4J36精密箔材细晶化固溶热处理，满足OLED显示屏行业精密蚀刻加工需求。

附图说明