[发明专利]多维旋转工件架及具有该多维旋转工件架的真空镀膜机

权利要求书

1.一种多维旋转工件架，包括轮系、行星齿轮(1)以及同轴固接在行星齿轮(1)上的支撑杆(2)，其特征在于：支撑杆(2)上设置有用于固定被镀工件的工件固定盘(3)，多维旋转工件架还包括用于驱动支撑杆(2)自转的回转动力转化为驱动工件固定盘(3)围绕水平轴自转的回转动力的第一驱动机构(4)；

还包括公转盘(5)，行星齿轮(1)转动连接在公转盘(5)上；第一驱动机构(4)包括相对于公转盘(5)位置固定的定位块(41)、与定位块(41)转动连接的从动锥齿轮(42)，以及与支撑杆(2)同轴固接的主动锥齿轮(43)，从动锥齿轮(42)与主动锥齿轮(43)相啮合且从动锥齿轮(42)的轴线与所述水平轴重合，工件固定盘(3)固定在从动锥齿轮(42)上。

2.根据权利要求1所述的多维旋转工件架，其特征在于：公转盘(5)上固定有多个安装杆(6)，定位块(41)的一侧栓接有夹紧块(44)，安装杆(6)被夹紧在定位块(41)与夹紧块(44)之间。

3.根据权利要求1所述的多维旋转工件架，其特征在于：支撑杆(2)上可拆卸连接有至少一个固定环(7)，每个固定环（7）上均搭接有自转盘（10），所述自转盘（10）套设在支撑杆(2)上，自转盘(10)用于安装多个被镀工件。

4.根据权利要求1所述的多维旋转工件架，其特征在于：行星齿轮(1)上同轴固接有传动轴(11)，支撑杆(2)与传动轴(11)之间同轴设置并可拆卸连接。

5.根据权利要求1所述的多维旋转工件架，其特征在于：还包括第二驱动机构(8)以及公转盘(5)，行星齿轮(1)转动连接在公转盘(5)上；所述轮系包括与公转盘(5)转动连接的太阳齿轮(13)，太阳齿轮(13)上啮合有与公转盘(5)转动连接的转向齿轮(14)，行星齿轮(1)与转向齿轮(14)相啮合；公转盘(5)上转动连接有与公转盘(5)同轴的主轴(15)，太阳齿轮(13)与主轴(15)固接，第二驱动机构(8)用于驱动主轴(15)围绕自身轴线定轴转动。

6.根据权利要求5所述的多维旋转工件架，其特征在于：第二驱动机构(8)包括与主轴(15)同轴固接的第一传动齿轮(82)，第一传动齿轮(82)上啮合有第一驱动齿轮(81)，第二驱动机构(8)还包括用于驱动第一驱动齿轮(81)围绕自身轴线定轴转动的第一伺服电机(83)。

7.根据权利要求5所述的多维旋转工件架，其特征在于：还包括第三驱动机构(9)，主轴(15)上套设有与主轴(15)转动连接的法兰(16)，法兰(16)与公转盘(5)同轴固接，第三驱动机构(9)用于驱动法兰(16)围绕自设轴线定轴转动。

8.根据权利要求7所述的多维旋转工件架，其特征在于：还包括用于固定的转架底座(17)，转架底座(17)上设置有推力轴承(18)，推力轴承(18)的固定在转架底座(17)上，公转盘(5)设置在推力轴承(18)上。

9.一种具有权利要求1-8任一项所述的多维旋转工件架的真空镀膜机，其特征在于：包括真空腔室(19)，多维旋转工件架设置在真空腔室(19)内部，真空腔室(19)上设置有多个围绕行星齿轮(1)的公转轴线间隔分布的溅射阴极(20)，真空腔室(19)的侧壁上开设有多个与不同溅射阴极(20)一一对应的溅射窗口(21)。