[发明专利]一种高效率的涡轮叶片电子束物理气相沉积装置

权利要求书

1.一种高效率的涡轮叶片电子束物理气相沉积装置，包括实现涂层制备必需的抽真空系统、真空阀门、电子枪系统、靶材送料系统、机械传动系统和冷却水系统，其特征在于包括整体呈圆柱形的中央腔室和在中央腔室的外侧沿圆周均匀分布设置的若干个功能腔室，中央腔室和各功能腔室的连通处均设有插板阀，中央腔室包含叶片装夹递送机构，可绕其中心轴旋转，所述中心轴连接有若干组伸缩臂，伸缩臂远离中心轴的一端均连接有叶片装夹器，伸缩臂的伸长或收缩均为独立控制，伸缩臂为伸长状态时可形成对相应功能腔室的真空密封，伸缩臂为收缩状态时叶片装夹递送机构可整体绕其中心轴旋转，以便将同一批次的待沉积涂层叶片依次经过各功能腔室完成涡轮叶片的涂层沉积。

2.根据权利要求1所述的高效率的涡轮叶片电子束物理气相沉积装置，其特征在于所述叶片装夹器一端配有真空封堵盘，伸缩臂为伸长状态时真空封堵盘和中央腔室内壁接触可形成对应功能腔室的真空密封。

3.根据权利要求2所述的高效率的涡轮叶片电子束物理气相沉积装置，其特征在于所述功能腔室包括沿顺时针或逆时针方向依次排列的叶片装卸腔室、叶片预热腔室、涂层沉积腔室和叶片冷却腔室。

4.根据权利要求3所述的高效率的涡轮叶片电子束物理气相沉积装置，其特征在于所述叶片装卸腔室用于将待沉积涂层叶片安装至叶片装夹递送机构的叶片装夹器上。

5.根据权利要求3所述的高效率的涡轮叶片电子束物理气相沉积装置，其特征在于所述叶片预热腔室用于将待沉积涂层叶片预热至设定温度。

6.根据权利要求3所述的高效率的涡轮叶片电子束物理气相沉积装置，其特征在于所述涂层沉积腔室用于对待沉积涂层叶片进行涂层沉积。

7.根据权利要求3所述的高效率的涡轮叶片电子束物理气相沉积装置，其特征在于所述涂层冷却腔室用于对已经完成沉积涂层的叶片进行补氧氧化和降温冷却。

8.根据权利要求1所述的高效率的涡轮叶片电子束物理气相沉积装置，其特征在于所述插板阀在伸缩臂为收缩状态时关闭，以防止热量散失，减少各个腔体之间的交叉污染。

9.根据权利要求1所述的高效率的涡轮叶片电子束物理气相沉积装置，其特征在于是由两套以上的涡轮叶片电子束物理气相沉积装置级联组成，相邻的两套装置共享一个功能腔室。