[发明专利]一种双气控缓释化学药品用药液阀

说明书

本发明公开了一种双气控缓释化学药品用药液阀，属于药液阀结构领域，包括阀体，所述阀体的表面两侧分别开设有进液口与出液口，所述进液口与出液口相连通，所述阀体在内腔中活动装配有活塞，所述活塞呈T字形，所述阀体在活塞的上方形成上腔室，所述阀体在活塞的下方形成下腔室，所述活塞的底部两侧与进液口、出液口处的内壁之间均装配有隔膜。本发明利用弹簧拉长和压缩特性，无论药液阀开或关，都会有弹簧力做用保持活塞平缓运动，使活塞运动过程中，不会受到剧烈冲击，从而保护隔膜，延长药液阀使用寿命。

技术领域

本发明涉及药液阀结构领域，具体为一种双气控缓释化学药品用药液阀。

背景技术

在半导体领域，必会用到各类化学药品，因化学药品的有毒性、腐蚀性等危险特点，控制化学药品关断的药液阀门就成在工艺管路中非常重要的环节，关乎系统的安全运行。

现使用药液阀普遍为气液分离的膜片式气控阀，其中膜片的质量和寿命就决定了药液阀的安全和寿命。传统药液阀普遍采用气控解锁，断气后弹簧复位闭合的运行模式，此种方式药液阀控制管内压力完全取决于弹簧力大小，单位体积下无法安装更大弹簧，导致管路压力升高一点，就需要更换更大体积药液阀，非常浪费空间；

同时常见的药液阀往往需要专门适配相应规格的管路进行使用，适用性欠佳，若不设置相应的调节功能，则药液阀开口固定，即造成要么开口比管路大，形成空腔，要么开口比管路小，造成憋压，使管路流量不稳定的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种双气控缓释化学药品用药液阀，通过设置双面弹簧、双口进气结构，无论药液阀开或关，都会有弹簧力做用保持活塞平缓运动，使活塞运动过程中，不会受到剧烈冲击，从而保护药液阀，延长药液阀使用寿命，而且提高了药液阀的适配性。

本发明提供如下技术方案：一种双气控缓释化学药品用药液阀，包括阀体，所述阀体的表面两侧分别开设有相连通的进液口与出液口，形成通路；在所述阀体内部且位于所述进液口与出液口之间上方设置内腔，所述内腔的侧壁下方向中间水平延伸出凸起边；在所述内腔中活动设置活塞；

所述活塞包括第一结构和第二结构；所述第一结构与所述内腔的侧壁相抵，将所述内腔分为上腔室和下腔室；所述第二结构的上端面固定连接于所述第一结构的下表面，且与所述第一结构相互垂直设置；所述第二结构向下延伸至所述进液口与出液口相连通的管路，且与所述凸起边相抵；

在所述下腔室内设置第一弹簧，所述第一弹簧的两端分别固定连接所述第一结构的下表面和所述凸起边的上表面；所述下腔室设置第一进气口，使气体通过所述第一进气口进入所述下腔室内部；

在所述上腔室内设置第二弹簧，所述第二弹簧的两端分别固定连接所述内腔顶壁和所述第一结构的上表面；所述上腔室设置第二进气口，使气体通过所述第二进气口进入所述上腔室内部。

进一步地，在所述进液口与出液口之间下方设置承载台，所述承载台的顶面匹配于所述第二结构的下端面设置，用于使所述活塞的第二结构与所述承载台的顶面相抵时，对所述进液口与出液口之间管路进行截流。

进一步地，在所述活塞的第二结构下端面设置隔膜；所述隔膜向周围延伸至所述进液口以及所述出液口的上壁，用于将所述进液口与出液口之间管路以及所述隔膜上方空间进行隔绝。

进一步地，所述第二弹簧和第一弹簧设置若干个，且所述第二弹簧和第一弹簧均作用于所述活塞的第一结构，使常态下，所述第二结构的下端面与所述承载台的顶面相抵。

进一步地，所述阀体的顶部设置调节机构，所述调节机构用于调节所述活塞在所述上腔室的移动量。

进一步地，所述调节机构包括螺杆和转轮；

所述螺杆穿过所述阀体的顶部表面，与所述阀体的顶部表面设置的螺孔进行螺接；