[发明专利]共烧型大位移多层压电致动器及其制备方法

权利要求书

1.一种共烧型大位移多层压电致动器，其特征在于其陶瓷材料的组成化学式为：Pb_0.95Sr_0.05(Zr_0.51Ti_0.49)(Zn_1/3Nb_2/3)_0.05(Ni_1/3Nb_2/3)_0.1O₃+0.1wt% CuO+0.4wt% Bi₂O₃+0.5wt%Li₂CO₃。

2.一种制备权利要求 1所述的共烧型大位移多层压电致动器的方法，其特征在于步骤如下：

1）按照化学式Pb_0.95Sr_0.05(Zr_0.51Ti_0.49)(Zn_1/3Nb_2/3)_0.05(Ni_1/3Nb_2/3)_0.1O₃+0.1wt% CuO+0.4wt% Bi₂O₃+0.5wt% Li₂CO₃的计量比称取原料Pb₃O₄、ZrO₂、TiO₂、SrCO₃、ZnO、Nb₂O₅、NiO、CuO、Bi₂O₃、Li₂CO₃；

2）将原料中的Pb₃O₄、ZrO₂、TiO₂、SrCO₃、ZnO、Nb₂O₅、NiO混合，球磨4h，烘干，过40目筛，得一次磨料；

3）将所述一次磨料在900℃的条件下密闭煅烧2h，得预烧料；

4）将所述预烧料与原料中的CuO、Bi₂O₃、Li₂CO₃混合，球磨8h，烘干，过40目筛，得二次磨料；

5）所述二次磨料中加入甲苯和酒精、1wt%增塑剂DOP、2wt%消泡剂TSF451-350、2.2wt%分散剂AKM，球磨12h，得三次磨料；其中，二次磨料、甲苯、酒精的质量比为100:20:15；

6）所述三次磨料中加入4wt%粘合剂PVB，球磨12h，得四次磨料；

7）对所述四次球磨料进行除泡处理30min，得流延浆料；

8）用流延机将所述流延浆料流延成厚度为18μm的膜带；

9）将上述膜带进行裁切，得膜片，在所述膜片上印刷电极，烘干；

10）将印刷有电极的膜片按照电极方向进行叠片，直至厚度达到设计尺寸，得膜片叠；

11）将各所述膜片叠用真空包装袋进行四次真空封装，然后在120MPa、水温为75℃的环境下等静压1h，得膜块；

12）按照电极切割线对所述膜块进行切割，得生坯；

13）按照电极方向将所述生坯叠成50mm厚，然后热压至45mm厚的生坯块；热压机温度为80℃，热压时间为1h；

14）按照电极排列对所述生坯块进行裁切，得致动器生坯；

15）将所述致动器生坯送入烧结炉中，升温至650℃排胶2h，然后升温至950～980℃烧结4h，得致动器陶瓷；

17）在所述致动器陶瓷的侧面印刷银浆，然后在750℃条件下烧银25min，得被银致动器陶瓷；

18）在所述被银致动器陶瓷上焊接铜箔和导线。