[发明专利]一种晶硅电池片去膜返工方法在审
申请号: | 202210998301.2 | 申请日: | 2022-08-19 |
公开(公告)号: | CN115360264A | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
发明(设计)人: | 蒋锴;付少剑;郁寅珑;范洵;何帅 | 申请(专利权)人: | 滁州捷泰新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/02;B08B3/08 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 夏菁 |
地址: | 239200 安徽省滁州市来*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电池 片去膜 返工 方法 | ||
1.一种晶硅电池片去膜返工方法,其特征在于,包括:
将返工片置于酸洗槽中进行初步酸洗;
将经过所述初步酸洗的返工片置于碱洗槽中进行初步碱洗,其中,所述碱洗槽的碱洗液中包括消泡剂;
将经过所述初步碱洗的返工片进行至少一次次酸洗及至少一次次碱洗,得到去膜硅片。
2.如权利要求1所述的晶硅电池片去膜返工方法,其特征在于,所述初步酸洗的酸洗液中包括极性表面活性剂。
3.如权利要求2所述的晶硅电池片去膜返工方法,其特征在于,所述极性表面活性剂为氨基酸表面活性剂。
4.如权利要求2所述的晶硅电池片去膜返工方法,其特征在于,所述极性表面活性剂在所述酸洗液中的含量的范围为0.8%至1.2%,包括端点值。
5.如权利要求1所述的晶硅电池片去膜返工方法,其特征在于,所述消泡剂在所述碱洗液中的含量的范围为1.0%至1.2%,包括端点值。
6.如权利要求1所述的晶硅电池片去膜返工方法,其特征在于,在所述初步酸洗之前,还包括:
使用氢氟酸及盐酸的混合酸液对所述返工片进行预清洗。
7.如权利要求6所述的晶硅电池片去膜返工方法,其特征在于,所述预清洗的温度范围为10摄氏度至60摄氏度之间,包括端点值。
8.如权利要求1所述的晶硅电池片去膜返工方法,其特征在于,所述碱洗液中还包括苯甲酸钠或表面活性剂。
9.如权利要求2所述的晶硅电池片去膜返工方法,其特征在于,所述酸洗液中还包括N-苯基乙醇胺、柠檬酸、柠檬烯及表面扩散剂中的至少一种。
10.如权利要求1至9任一项所述的晶硅电池片去膜返工方法,其特征在于,在任一次酸洗与碱洗之间,将所述返工片放置于去离子水中清洗。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于滁州捷泰新能源科技有限公司,未经滁州捷泰新能源科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210998301.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的