[发明专利]一种隔离粉及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202211002329.2 申请日: 2022-08-19
公开(公告)号: CN115611637B 公开(公告)日: 2023-10-27
发明(设计)人: 陈明;郭天枫;陈玉衡 申请(专利权)人: 江苏方达正塬电子材料科技有限公司
主分类号: C04B35/584 分类号: C04B35/584;C04B35/622;C04B35/638
代理公司: 江苏长德知识产权代理有限公司 32478 代理人: 汤小权
地址: 210006 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 隔离 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种隔离粉的制备方法,其特征在于,该制备方法包括以下步骤:

1)在N2的保护下,分别将经预处理后的α-Si3N4粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体制成微纳粉体S1、S2、S3和S4

2)将前述的微纳粉体S1、S2、S3和S4按比例输送至粉体混料机中,在N2的保护下进行成分混合,形成混合粉料S0

3)将混合粉料S0转移至砂磨机中,转移过程中保持无氧气接触,并同时加入无水乙醇和胶结剂进行研磨,以制成微纳浆料J0

4)使用喷雾造粒机对微纳浆料J0进行造粒,并用孔径分别为M1+100μm和M1的筛子对颗粒进行过筛;

5)将筛分大于M1+100μm和小于M1的颗粒重新输送至砂磨机进行研磨,而对中间尺寸的颗粒进行排胶处理后,即得本发明的隔离粉产品。

2.根据权利要求1所述的一种隔离粉及其制备方法,其特征在于,所述混合粉料S0中α-Si3N4粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体的比例分别为75%-90%、9%-14%、0.5%-5%、0.5%-6%。

3.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法,其特征在于,所述步骤1)中对α-Si3N4粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体进行预处理的具体操作为:

使用具有加温装置的混料器对α-Si3N4粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体各自进行充分混匀和除湿,同时不停地向各个粉体中充入N2,以去除各个粉体中的氧气。

4.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法,其特征在于,所述步骤2)中粉体混料机的混料转速为80-110r/min。

5.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法,其特征在于,所述步骤3)中砂磨机的内壁和磨介球为Si3N4或AlN制成。

6.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法,其特征在于,所述步骤3)中胶结剂为PMA、PMMA或PMB中的一种或两种以上混配物。

7.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法,其特征在于,所述步骤3)中砂磨机制成的微纳浆料J0中各粉体的粒径为1~20μm。

8.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法,其特征在于,所述步骤4)中孔径M1的取值范围为20≤M1≤300。

9.一种隔离粉,其特征在于,由权利要求1-8任一所述的隔离粉的制备方法制成。

10.一种隔离粉的应用,其特征在于,所述隔离粉在氮化铝基板生产加工上的应用。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏方达正塬电子材料科技有限公司,未经江苏方达正塬电子材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202211002329.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top