[发明专利]一种隔离粉及其制备方法有效
申请号: | 202211002329.2 | 申请日: | 2022-08-19 |
公开(公告)号: | CN115611637B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 陈明;郭天枫;陈玉衡 | 申请(专利权)人: | 江苏方达正塬电子材料科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/584 | 分类号: | C04B35/584;C04B35/622;C04B35/638 |
代理公司: | 江苏长德知识产权代理有限公司 32478 | 代理人: | 汤小权 |
地址: | 210006 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 隔离 及其 制备 方法 | ||
1.一种隔离粉的制备方法,其特征在于,该制备方法包括以下步骤:
1)在N2的保护下,分别将经预处理后的α-Si3N4粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体制成微纳粉体S1、S2、S3和S4;
2)将前述的微纳粉体S1、S2、S3和S4按比例输送至粉体混料机中,在N2的保护下进行成分混合,形成混合粉料S0;
3)将混合粉料S0转移至砂磨机中,转移过程中保持无氧气接触,并同时加入无水乙醇和胶结剂进行研磨,以制成微纳浆料J0;
4)使用喷雾造粒机对微纳浆料J0进行造粒,并用孔径分别为M1+100μm和M1的筛子对颗粒进行过筛;
5)将筛分大于M1+100μm和小于M1的颗粒重新输送至砂磨机进行研磨,而对中间尺寸的颗粒进行排胶处理后,即得本发明的隔离粉产品。
2.根据权利要求1所述的一种隔离粉及其制备方法,其特征在于,所述混合粉料S0中α-Si3N4粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体的比例分别为75%-90%、9%-14%、0.5%-5%、0.5%-6%。
3.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法,其特征在于,所述步骤1)中对α-Si3N4粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体进行预处理的具体操作为:
使用具有加温装置的混料器对α-Si3N4粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体各自进行充分混匀和除湿,同时不停地向各个粉体中充入N2,以去除各个粉体中的氧气。
4.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法,其特征在于,所述步骤2)中粉体混料机的混料转速为80-110r/min。
5.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法,其特征在于,所述步骤3)中砂磨机的内壁和磨介球为Si3N4或AlN制成。
6.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法,其特征在于,所述步骤3)中胶结剂为PMA、PMMA或PMB中的一种或两种以上混配物。
7.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法,其特征在于,所述步骤3)中砂磨机制成的微纳浆料J0中各粉体的粒径为1~20μm。
8.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法,其特征在于,所述步骤4)中孔径M1的取值范围为20≤M1≤300。
9.一种隔离粉,其特征在于,由权利要求1-8任一所述的隔离粉的制备方法制成。
10.一种隔离粉的应用,其特征在于,所述隔离粉在氮化铝基板生产加工上的应用。
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