[发明专利]一种隔离粉及其制备方法

权利要求书

1.一种隔离粉的制备方法，其特征在于，该制备方法包括以下步骤：

1)在N₂的保护下，分别将经预处理后的α-Si₃N₄粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体制成微纳粉体S₁、S₂、S₃和S₄；

2)将前述的微纳粉体S₁、S₂、S₃和S₄按比例输送至粉体混料机中，在N₂的保护下进行成分混合，形成混合粉料S₀；

3)将混合粉料S₀转移至砂磨机中，转移过程中保持无氧气接触，并同时加入无水乙醇和胶结剂进行研磨，以制成微纳浆料J₀；

4)使用喷雾造粒机对微纳浆料J₀进行造粒，并用孔径分别为M₁+100μm和M₁的筛子对颗粒进行过筛；

5)将筛分大于M₁+100μm和小于M₁的颗粒重新输送至砂磨机进行研磨，而对中间尺寸的颗粒进行排胶处理后，即得本发明的隔离粉产品。

2.根据权利要求1所述的一种隔离粉及其制备方法，其特征在于，所述混合粉料S₀中α-Si₃N₄粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体的比例分别为75％-90％、9％-14％、0.5％-5％、0.5％-6％。

3.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中对α-Si₃N₄粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体进行预处理的具体操作为：

使用具有加温装置的混料器对α-Si₃N₄粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体各自进行充分混匀和除湿，同时不停地向各个粉体中充入N₂，以去除各个粉体中的氧气。

4.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中粉体混料机的混料转速为80-110r/min。

5.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法，其特征在于，所述步骤3)中砂磨机的内壁和磨介球为Si₃N₄或AlN制成。

6.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法，其特征在于，所述步骤3)中胶结剂为PMA、PMMA或PMB中的一种或两种以上混配物。

7.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法，其特征在于，所述步骤3)中砂磨机制成的微纳浆料J₀中各粉体的粒径为1～20μm。

8.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法，其特征在于，所述步骤4)中孔径M₁的取值范围为20≤M₁≤300。

9.一种隔离粉，其特征在于，由权利要求1-8任一所述的隔离粉的制备方法制成。

10.一种隔离粉的应用，其特征在于，所述隔离粉在氮化铝基板生产加工上的应用。